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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0700267 (1996-08-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 14 |
A workpiece loading interface is included within a workpiece processing system which processes workpieces, typically wafers, in a vacuum. The workpiece loading interface includes two separate chambers. Each chamber may be separately pumped down. Thus, while a first cassette of wafers, from a first c
[ We claim:] [1.] In a workpiece processing system comprising multiple vacuum chambers coupled to a central chamber, a workpiece loading interface comprising:dual workpiece load/unload chambers coupled to the central chamber, each having an opening for receiving workpieces held in a cassette and for
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