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Protecting copper dielectric interface from delamination 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B32B-003/00
출원번호 US-0808141 (1997-02-28)
발명자 / 주소
  • Blumberg Lawrence Robert
  • Chen William T.
  • Poliks Mark David
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Calfee, Halter & Griswold LLP
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 8

초록

A method of minimizing forming of white spots and delamination of a copper plane bonded to one surface of a dielectric material following additive pattern plating of copper onto the other surface of the material and in vias contacting the copper plane utilizing a plating solution containing a reduci

대표청구항

[ What is claimed is:] [19.] A circuitized structure comprising at least one sheet of copper having a first roughened surface bonded to one surface of a first dielectric substrate and a second roughened surface having an oxide of CuO and CuO(II) thereon bonded to a first surface of a second substrat

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Cordts ; Howard P. ; Navin ; Robert F. ; Ross ; R. Charles, Copper foil electrical laminate with reinforced plastics.
  2. Andress ; Jr. Harry J. (Pitman NJ), Lubricant compositions containing benzotriazole derivatives as copper passivators.
  3. Anschel Morris (Binghamton NY), Method for improving adhesion between a polyimide layer and a metal and the article obtained.
  4. King David E. (Endicott NY) Markovich Voya (Endwell NY) Sambucetti Carlos J. (Croton-on-Hudson NY) Tisdale Stephen L. (Vestal NY) Trevitt Donna J. (Vestal NY), Method for providing an electroless copper plating bath in the take mode.
  5. Tanaka Isamu (Yokosuka JPX) Oka Hitoshi (Yokohama JPX) Watanabe Makio (Fujisawa JPX) Kikuchi Hiroshi (Zushi JPX) Imabayashi Shinichiro (Yokohama JPX) Taniguti Yukihiro (Chigasaki JPX), Photocurable diallyl phthalate resin composition and printed circuit board using the same.
  6. Bell James P. (Storrs CT) Park Jae M. (Storrs CT), Process for improving copper-epoxy adhesion.
  7. Kobayashi Shiro (Hitachi JPX) Itoh Masahiko (Hitachi JPX) Minato Akira (Hitachi JPX), Resin packaged semiconductor device having a protective layer made of a metal-organic matter compound.
  8. Caule Elmer J. (New Haven CT), Tarnish resistant copper and copper alloys.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Emami, Ramin, Apparatus and method for edge bead removal.
  2. Emami, Ramin, Capillary ring.
  3. Avanzino,Steven, Memory device with improved data retention.
  4. Nakagawa Toshiko,JPX ; Ogushi Ryo,JPX, Method for surface treatment of copper or copper alloys.
  5. Wang, Jiangtao; Lillie, Dan; Russell, David B.; Clouser, Sidney J., Process for manufacturing copper foil on a metal carrier substrate.
  6. Miller Thomas R. ; Stauffer Kristen A. ; Wozniak Michael, Protection of a plated through hole from chemical attack.
  7. Miller, Thomas R.; Stauffer, Kristen A.; Wozniak, Michael, Protection of a plated through hole from chemical attack.
  8. Wang, Zhonghui Alex; Arunagiri, Tiruchirapalli; Redeker, Fritz C.; Dordi, Yezdi; Boyd, John; Korolik, Mikhail; Howald, Arthur M.; Thie, William; Nalla, Praveen, Thermal methods for cleaning post-CMP wafers.
  9. Wang, Zhonghui Alex; Arunagirí, Tiruchirapalli; Redeker, Fritz C.; Dordi, Yezdi; Boyd, John; Korolik, Mikhail; Howald, Arthur M.; Thie, William; Nalla, Praveen, Thermal methods for cleaning post-CMP wafers.
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