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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0766271 (1996-12-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 0 |
A vacuum compatible linear motion device having a fluid bearing is contained within a vacuum chamber having a working pressure of significantly less than one atmosphere. The fluid bearing is contained within a vacuum enclosure within the vacuum chamber and is maintained at a pressure higher than tha
[ We claim:] [1.] A vacuum compatible linear motion device comprising:a vacuum chamber for sustaining a first pressure substantially less than one atmosphere;a first fluid bearing fixably coupled to an inside surface of said vacuum chamber wherein said first fluid bearing has an axis oriented in a f
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