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Vacuum compatible linear motion device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05G-011/00
  • F16C-033/06
  • F16J-015/52
출원번호 US-0766271 (1996-12-13)
발명자 / 주소
  • Trost David
  • Veneklasen Lee
출원인 / 주소
  • Etec Systems, Inc.
대리인 / 주소
    Skjerven, Morrill, MacPherson, Franklin & Friel LLPBerman
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 0

초록 ▼

A vacuum compatible linear motion device having a fluid bearing is contained within a vacuum chamber having a working pressure of significantly less than one atmosphere. The fluid bearing is contained within a vacuum enclosure within the vacuum chamber and is maintained at a pressure higher than tha

대표청구항 ▼

[ We claim:] [1.] A vacuum compatible linear motion device comprising:a vacuum chamber for sustaining a first pressure substantially less than one atmosphere;a first fluid bearing fixably coupled to an inside surface of said vacuum chamber wherein said first fluid bearing has an axis oriented in a f

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Douglas C. Watson ; W. Thomas Novak, Air bearing linear guide for use in a vacuum.
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  2. Veneklasen Lee H., Annular differential seal for electron beam apparatus using isolation valve and additional differential pumping.
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  3. Gil, Kye Hwan, Device for adjusting curvature of mirror while avoiding movement of central point of mirror, and mirror adjustment system comprising same.
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  4. Matsuoka Takaaki,JPX ; Asakawa Teruo,JPX, Drive mechanism having a gas bearing operable under a negative pressure environment.
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  5. Shinohara,Shinji; Tsuda,Takuma; Hayashida,Takeshi, Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for hydrostatic gas bearing device.
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  6. Shinohara,Shinji; Tsuda,Takuma; Hayashida,Takeshi, Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for the hydrostatic gas bearing device.
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  7. Gerhard Riedel DE; German Dutsch DE, Linear guide device.
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  8. Katsuhito Nishikawa ; Thomas F. Carlos, Linear robot.
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  9. Watson, Douglas C., Method and apparatus for cooling power supply wires used to drive stages in electron beam lithography machines.
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  10. Bisschops, Theodorus H. J.; Soemers, Hermanus M. J. R.; Vijfvinkel, Jakob; Driessen, Johannes C.; Renkens, Michael J. M.; Bouwer, Adrianus G., Movable support in a vacuum chamber and its application in lithographic projection apparatuses.
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  11. Katsuhito Nishikawa ; Thomas F. Carlos, Particulate free air bearing and seal.
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  12. Phillips, Alton Hugh; Sugimoto, Hiroshi, Reversed, double-helical bellows seal.
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  13. Phillips, Alton Hugh; Sugimoto, Hiroshi, Reversed, double-helical bellows seal.
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  14. Hsiao, Min-Su; Wen, Wen-Hao; Lin, Chun-Ming; Su, Ta-Jung, Sealed bearing assembly with swing and movement.
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  15. Higuchi, Akira; Kato, Takayuki; Iwasaki, Kenichi, Slide apparatus and its stage mechanism for use in vacuum.
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  16. Higuchi, Akira; Kato, Takayuki; Iwasaki, Kenichi, Slide apparatus and its stage mechanism for use in vacuum.
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  17. Shinozaki,Hiroyuki; Sobukawa,Hirosi; Yoshikawa,Shoji, Stage device and angle detecting device.
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  18. Sakino, Shigeo; Inoue, Mitsuru; Kubo, Tadayuki, Stage device, exposure apparatus, device manufacturing method and movement guidance method.
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  19. Tokushima Shinobu,JPX ; Okubo Yukiharu,JPX ; Shimoda Toshimasa,JPX, Static air-bearing and stage apparatus using the bearing and optical apparatus using the stage apparatus.
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