[특허]Method and composition for arbitrary angle mirrors in substrates for use in hybrid optical systems

Method and composition for arbitrary angle mirrors in substrates for use in hybrid optical systems 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G02F-010/25 G02F-010/35 G02F-012/95 G02B-006/26
출원번호	US-0650582 (1996-05-20)
발명자 / 주소	Goossen Keith Wayne Walker James Albert
출원인 / 주소	Lucent Technologies Inc.
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method for forming, and an arrangement for using arbitrary angle mirrors in substrates is disclosed. An erodible material, such as a photoresist, is applied to a substrate at a site and is exposed to radiation at that site which has a linear variation in energy at the surface of the erodible material. Due to this variation in exposure energy, a taper results in the erodible material after development. The tapered region is then etched in a manner which etches both the erodible layer and the underlying substrate. The taper in the erodible layer provides a varying attenuation during the etching process such that the taper of the erodible layer, or a multiple of it, is transferred to the substrate. In a first embodiment, a tapered reflective surface is formed in a substrate, which surface engages an optical signal and deflects it to an optical device or another surface. In a second embodiment, two tapered reflective surfaces are formed in a substrate and oriented to deflect incident light to a modulation device. In a third embodiment, an arrangement for modulating a light signal is formed by two tapered reflective surfaces. The surfaces are oriented to form a vee groove in a substrate and are coated with an active semiconductor device.

대표청구항 ▼

[ We claim:] [9.] An apparatus for modulating an optical signal comprising:a first tapered reflective surface formed in a substrate for receiving and reflecting the optical signal;a modulator that receives the reflected optical signal and reflects a lesser portion of the optical signal in a first state and a greater portion of the optical signal in a second state; anda second tapered reflective surface formed in the substrate that receives the lesser and greater portions of the optical signal reflected from the modulator during its respective first and second states.

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