[특허]Corrosion resistant cryopump

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[미국특허] Corrosion resistant cryopump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-008/00
출원번호	US-0708451 (1996-09-05)
발명자 / 주소	Morris Ronald N. Ball-DiFazio Doreen J. Matte Stephen R. Quintanilha Ernest D.
출원인 / 주소	Helix Technology Corporation
대리인 / 주소	Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C.
인용정보	피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 16

초록 ▼

A cryopanel is formed of aluminum to avoid copper ions in a work chamber, and the aluminum is coated with a Teflon.RTM. polymer for corrosion resistance. A corrosion resistant thermally conductive link is obtained by surrounding indium with a polymer coated C-ring. The cryopanel is shaped as a troug

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A cryopump comprising:a cryogenic refrigerator; anda cryopanel of high conductivity material cooled by the cryogenic refrigerator, the cryopanel having a corrosion resistant polymer coating, wherein said corrosion resistant polymer coating is a halogenated or perhalogenated alkenyl or alkoxy polymer or a copolymer thereof having c.sub.1 to c.sub.4 repeat units, wherein said repeat units are substantially halogenated with fluorine, chlorine or combinations thereof.

이 특허에 인용된 특허 (16) 인용/피인용 타임라인 분석

Beidler, Glenn S., Anti-rotation device for contracting rod ring seals.
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Najm Habib (Dallas TX) Davis Cecil J. (Greenville TX) Gardner Gregory E. (Euless TX), Coupling device for providing electrical and thermal insulation under high pressure, cryogenic conditions.
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Larin Marxen P. (prospekt Nauki ; 29 ; kv. 78 Leningrad SUX), Cryogenic condensation pump.
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Larin Marxen P. (prospekt Nauki ; 29 ; kv. 78 Leningrad SUX) Alexandrov Maxim L. (prospekt Engelsa ; 63 ; korpus 3 ; kv. 89 Leningrad SUX) Nikolaev Valery I. (prospekt Rentgena ; 15/31 ; kv. 8 Lening, Cryogenic sorption pump.
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McFarlin David J. (Ellington CT), Cryopump.
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Higham Graham J. (Contra Costra CA) Perkins Craig (Santa Clara County CA), Cryopump method and apparatus.
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Vermilyea Mark E. (Schenectady NY), Efficient thermal joints for connecting current leads to a cryocooler.
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Black ; Jr. Thomas J. (Lowell MA), Ferrofluid exclusion seal and method of assembly.
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Babel Henry W. (Huntington Beach CA) Fuson Phillip L. (Huntington Beach CA) Chickles Colin D. (Huntington Beach CA) Jones Cherie A. (Westminster CA) Anderson Raymond H. (Santa Ana CA), High pressure mechanical seal.
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Buggele Alvin E. (7 Milan Manor Dr. Milan OH 44846), High pressure multi-purpose seal.
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McNaught William G. (Broughty Ferry GB6) Hill Roger (Silverburn GB6), Joint between articles of materials of different coefficients of thermal expansion.
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Lascar Guy (Vigneux sur Seine FRX) Roland Jean-Jacques (Sceaux FRX), Method for producing a fluidtight and heat curable seal between metal objects and a body of vitroceramic material.
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Hemmerich Johann L. (Oxford GBX) Milverton Paul (Harwell GBX), Modified cryogenic diffusion pump.
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Halling Horace P. (Laurel MD), Multi-ply sealing rings.
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Pandorf Robert C. (Newton Highlands MA), Self-cleaning valve and cryopump utilizing the same.
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Sixsmith Herbert (Norwich VT) Valenzuela Javier A. (Grantham NH) Nutt William E. (Enfield NH), Wide temperature range seal for demountable joints.
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이 특허를 인용한 특허 (3) 인용/피인용 타임라인 분석

Amundsen, Paul E.; Buonpane, Maureen C.; Andrews, Douglas; Jacobs, Jordan, Integration of automated cryopump safety purge.
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Martin, Francis J., Pressure relief valve with singular body.
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Martin, Francis J., Pressure relief valve with singular body.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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