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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0604997 (1996-02-29) |
우선권정보 | IL-0110549 (1994-08-02) |
국제출원번호 | PCT/US95/085 (1995-07-12) |
§371/§102 date | 19960229 (19960229) |
국제공개번호 | WO-9604534 (1996-02-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 18 |
An emissivity compensating non-contact system for measuring the temperature of a semiconductor wafer. The system includes a semiconductor wafer emissivity compensation station for measuring the reflectivity of the wafer at discrete wavelengths to yield wafer emissivity in specific wavelength bands.
[ What is claimed is:] [12.] An emissivity compensating non-contact system for measuring the temperature of a semiconductor wafer, comprising:(a) a semiconductor wafer emissivity compensation station for measuring the reflectivity of said wafer at discrete wavelengths;(b) a measurement probe which i
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