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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0311529 (1994-09-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 32 인용 특허 : 7 |
A hydrogenated carbon film for magnetic thin film recording media is manufactured by alternating current magnetron sputtering in an atmosphere containing argon and a hydrocarbon gas. Targets mounted side-by-side cyclically sputter and discharge charge buildup according to an alternating current. Shi
[ We claim:] [1.] A method for sputtering a carbon film for a magnetic thin film recording medium, comprising the steps of:a) providing carbon-containing targets positioned side-by-side in an evacuated environment;b) flowing a gas into the evacuated environment to a pressure capable of sustaining sp
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