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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0683959 (1996-07-19) |
우선권정보 | JP-0206593 (1995-07-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 186 인용 특허 : 4 |
A polishing apparatus polishes a workpiece such as a semiconductor wafer while detecting a thickness or a flatness of a surface layer of the workpiece on a real-time basis. The polishing apparatus includes a turntable with a polishing cloth mounted on an upper surface thereof, and a top ring dispose
[ What is claimed is:] [1.] A polishing apparatus comprising:a turntable having thereon a polishing surface;a top ring disposed above said turntable for supporting a workpiece to be polished and for pressing the workpiece against said polishing surface; anda thickness detector operable to, during re
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