최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0630050 (1996-04-09) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 55 인용 특허 : 0 |
The present invention is directed to electrostatic chucks, methods for their use, the electrostatic deposition of particles on an objects, and the objects themselves that have been subjected to electrostatic deposition. In one aspect, the present invention provides an electrostatic chuck for electro
[ We claim:] [1.] A method of manufacturing a pharmaceutical composition comprising:(a) electrostatically adhering a pharmaceutical substrate to an electrostatic chuck; and(b) applying particles to the pharmaceutical substrate which is adhered to the electrostatic chuck, and electrostatically adheri
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.