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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0818750 (1997-03-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 8 |
Inside a first cylinder for structuring an evaporator, a second cylinder is provided. The second cylinder has an undulated surface and a plurality of fine holes are provided on this surface. A liquid TEOS is contained in a first space positioned between the first cylinder and the second cylinder, an
[ We claim:] [18.] An apparatus for manufacturing semiconductor apparatuses, comprising:an evaporator for evaporating a liquid raw material, including:a container; anda partition for separating inside said container into first and second spaces adjacent to each other in a horizontal direction, said
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