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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0835533 (1997-04-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 129 인용 특허 : 6 |
Because of diffraction effects caused by slits or apertures in optical measurement systems, the radiation energy which is directed towards a particular region on a sample will be spread over a larger area than desirable. By employing an apodizing filter in the radiation path in such system, diffract
[ What is claimed is:] [1.] A method for measuring a sample, including the steps of:focusing radiation from a source into a sampling beam directed at the sample;detecting radiation of the sampling beam that has been modified by a portion of the sample, said portion defining a measurement spot; andap
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