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Self-levelling wafer-lot cart 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B62B-003/10
출원번호 US-0783239 (1997-01-14)
발명자 / 주소
  • Engelking Steven
출원인 / 주소
  • Sony Electronics, Inc.
대리인 / 주소
    Kananen
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 3

초록

In order to transport delicate equipment, unstable/hazardous liquids or the like, from one point to another, a cart, or similar form of conveyance, is provided with one or more tables or platforms which are pivotally supported and connected to a relatively large mass. The mass exhibits sufficient in

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A cart for transporting semiconductor wafers or volatile materials while automatically maintaining a level surface on which said transported articles are disposed, said cart comprising:at least one table, and for each said table;a shaft one end of which is attached to sai

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Braeger Denise M. (Erie PA) Gwinn James T. (Fairview PA) Thorn Richard P. (Erie PA) Gureghian Richard S. (Burlington MA), Caster for isolating shock and vibration loads.
  2. Engelking Steven (San Antonio TX) Magallanez Carol (San Antonio TX), Clean room cart.
  3. Reurich Peter (15 The Appian Way Clareville Beach ; NSW 2107 AUX), Wheeled cabinet with self-levelling removable trays.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Parson, Willie M., Air drop container assembly.
  2. Matsushita Takao,JPX ; Kuroda Shigeji,JPX ; Ide Yoshinobu,JPX, Automatic semiconductor wafer applying apparatus.
  3. Cheng, Lin, Reticle box transport cart.
  4. Smith Dave W.,CAX, Utility cart.
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