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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0926568 (1997-09-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 220 인용 특허 : 11 |
An integrated modular multiple chamber vacuum processing system is disclosed. The system includes a load lock, may include an external cassette elevator, and an internal load lock wafer elevator, and also includes stations about the periphery of the load lock for connecting one, two or several vacuu
[ Having thus described preferred and alternative embodiments of our multiple chamber integrated process system, what is claimed is:] [1.] An integrated workpiece vacuum processing system comprising:a vacuum transfer chamber having a closable entrance;a first vacuum processing chamber mounted to sai
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