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[미국특허] Thermal sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-031/08
출원번호 US-0627598 (1996-04-04)
발명자 / 주소
  • Higashi Robert E.
  • Holmen James O.
  • Johnson Robert G.
출원인 / 주소
  • Honeywell Inc.
대리인 / 주소
    Jensen
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 22

초록

A two-level IR detector imaging array of high fill-factor design. The upper microbridge detector level is spaced above and overlie the integrated circuit and bus lines on the substrate surface below.

대표청구항

[ The embodiments of the invention in which an exclusive property or rights is claimed are defined as follows:]

이 특허에 인용된 특허 (22) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Chapman Richard Alexander (Dallas TX), Arrays for infrared image detection.
  2. Pulvari Charles F. (2014 Taylor St. ; NE. Washington DC 20018), Efficient method and apparatus for converting solar energy to electrical energy.
  3. Lorenze ; Jr. Robert V. (Westford MA) White William J. (Chelmsford MA), Hybrid mosaic IR/CCD focal plane.
  4. Spears David L. (Acton MA), Infrared detector using a resonant optical cavity for enhanced absorption.
  5. Adachi Hideo (Kyoto JPX) Minai Kiichi (Shiga JPX) Moriyasu Kozo (Muko JPX) Imagawa Shunjiro (Muko JPX), Infrared radiation detecting apparatus and method of manufacturing.
  6. Liddiard Kevin C. (Fairview Park AUX), Infrared radiation detector.
  7. Ball Patrick J. R. (Southampton GB2) Vaughan David N. (Totton GB2), Infrared radiation detector with flanged semiconductor window.
  8. Fateley William G. (Manhattan KS), Interferometer including stationary, electrically alterable optical masking device.
  9. Momose Hiroshi (Yokohama JPX), Method for making mask aligned narrow isolation grooves for a semiconductor device.
  10. Tracy ; John M., Method of fabricating an array of flexible metallic interconnects for coupling microelectronics components.
  11. Johnson Robert G. (Minnetonka MN) Higashi Robert E. (Minneapolis MN), Method of making semiconductor device.
  12. Chabinsky, Douglas J.; Coda, Roger C., Miniature thin film infrared calibration source.
  13. Foss Norman A. (North Oaks MN) Kruse ; Jr. Paul W. (Edina MN) Wood R. Andrew (Bloomington MN), Monolithic integrated dual mode IR/mm-wave focal plane sensor.
  14. White William J. (Chelmsford MA) Gelpey Jeffrey C. (Peabody MA) Marshall ; Jr. Donald E. (Harvard MA), Mounting for pyroelectric detecctor arrays.
  15. Murata Michihiro (Nagaokakyo JPX) Tanaka Katsuhiko (Nagaokakyo JPX) Seto Hiroyuki (Nagaokakyo JPX), One-dimensional pyroelectric sensor array.
  16. Myer Jon H. (Woodland Hills CA) Grinberg Jan (Los Angeles CA), Parallel interconnect for planar arrays.
  17. Hendrickson Thomas E. (Wazata MN), Photodetector signal processing.
  18. Chiang Alice M. (Framingham MA) Denley Brian W. (Melrose MA) Schapker Richard L. (North Andover MA), Pyroelectric detector fabrication.
  19. Gragg ; Jr. John E. (Paradise Valley AZ), Silicon pressure sensor.
  20. Balcerak ; Raymond S. ; Garn ; Lynn E., Solid state readout device for a two dimensional pyroelectric detector arra y.
  21. Sher Arden (Belmont CA) Sabo Karen (Newark CA), Thermal detector.
  22. Ennulat Reinhard D. (Huntington Beach CA) Pommerrenig Dieter (Laguna Niguel CA), Uncooled high resolution infrared imaging plane.

이 특허를 인용한 특허 (11) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Wood,Roland Andrew, Camera having distortion correction.
  2. Cole, Barrett E.; Higashi, Robert, High performance detection pixel.
  3. Jacksen, Niels F.; Tibbitt, Jeffrey G.; Sepulveda, Michael A., Hybridized lead-salt infrared radiation detectors and methods of formation.
  4. Wood, Roland Andrew, Lightweight infrared camera.
  5. Gillham,John P; Watton,Rex; Alderman,John C, Micro-bridge structure.
  6. Wood, Roland Andrew, Microbolometer operating system.
  7. Wood, Roland Andrew, Microbolometer operating system.
  8. Jacksen, Niels F.; Tibbitt, Jeffrey G.; Sepulveda, Michael A., Monolithic lead-salt infrared radiation detectors and methods of formation.
  9. Wood,Roland A.; Higashi,Robert E.; Cole,Barrett E., Planar thermal array.
  10. Andersson Jan,SEX, Structures for temperature sensors and infrared detectors.
  11. Higashi Robert E., Thermal sensor and method of making same.

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