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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0985552 (1997-12-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 2 |
A method of producing a fused silica glass by thermally converting a polymethylsiloxane precursor, the lens transmitting ultraviolet radiation at wavelengths below 300 nm. without undergoing a marked absorption transition, the lens so produced, and a microlithography system employing a lens of such
[ We claim:] [1.] A method of producing a fused silica lens that transmits ultraviolet radiation having a wavelength below 300 nm. with controlled optical damage and inhibited red fluorescence during such transmission, the method comprising thermally converting a polymethylsiloxane precursor to fuse
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