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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0939027 (1997-09-26) |
우선권정보 | CH-0002516 (1996-10-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 7 |
A device for transporting substrates through a vacuum system has a flat, parallel piped, plate-shaped substrate holder with upper and lower holder areas that are moveable in a vertical position along a transport path through the system. The upper part of the substrate holder is supported without con
[ We claim:] [1.] A device for transporting a plate-shaped substrate in and through a vacuum treatment system having at least one treatment station with a parallelepiped substrate holder with an upper edge area and a lower edge area, the substrate being adapted to be held in a vertical plane in the
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