[특허]Closed loop process for producing polycrystalline silicon and fumed silica

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Closed loop process for producing polycrystalline silicon and fumed silica 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C01B-033/02
출원번호	US-0966798 (1997-11-10)
발명자 / 주소	DeLuca John P.
출원인 / 주소	MEMC Electronic Materials, Inc.
대리인 / 주소	Senniger, Powers, Leavitt & Roedel
인용정보	피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 1

초록

A closed loop process for producing electronic grade polycrystalline silicon from silane and fume silica from silicon tetrachloride comprises the steps of:

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A closed loop process for producing electronic grade polycrystalline silicon from silane and fumed silica from silicon tetrachloride comprising the steps of:a) subjecting impure silicon to hydrochlorination with hydrogen chloride to produce trichlorosilane and silicon tetrachloride together with minor amounts of dichlorosilane and monochlorosilane;b) converting said trichlorosilane to silicon tetrachloride and silane;c) converting saidsilane to polycrystalline silicon and hydrogen;d) reacting the silicon tetrachloride from steps a) and b) with hydrogen and oxygen to produce fumed silica and hydrogen chloride; ande) recycling the hydrogen chloride from step d) for use in step a).

이 특허에 인용된 특허 (1)

Padovani ; Francois A. ; Miller ; Michael Brant ; Moore ; James A. ; Fo wler ; James H. ; June ; Malcolm Neville ; Matthews ; James D. ; Morton ; T. R. ; Stotko ; Norbert A. ; Palmer ; Lewis B., Process of refining impure silicon to produce purified electronic grade silicon.
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이 특허를 인용한 특허 (17)

Schumacher, John C., Closed-loop silicon production.
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Sansegundo-Sanchez, Javier; Benavides-Rel, Xavier; Vales-Canle, Manuel; Tomas-Martinez, Maria, Cooled gas distribution plate, thermal bridge breaking system, and related methods.
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Sanchez, Javier San Segundo; Barona, Jose Luis Montesinos; Conejero, Evaristo Ayuso; Canle, Manuel Vicente Vales; Rel, Xavier Benavides; Garcia, Pedro-Tomas Lujan; Martinez, Maria Tomas, Fluidized bed reactor for production of high purity silicon.
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Sanchez, Javier San Segundo; Barona, Jose Luis Montesinos; Conejero, Evaristo Ayuso; Canle, Manuel Vicente Vales; Rel, Xavier Benavides; Garcia, Pedro-Tomas Lujan; Martinez, Maria Tomas, Fluidized bed reactor for production of high purity silicon.
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Stephen M Lord, Method for improving the efficiency of a silicon purification process.
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Bohmhammel, Klaus; Koether, Sven; Roewer, Gerhard; Roever, Ingo; Monkiewicz, Jaroslaw; Hoene, Hans-Juergen, Method for the production of HSiCl3 by catalytic hydrodehalogenation of SiCl4.
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Hariharan, Alleppey V.; Ravi, Jagannathan, Method to convert waste silicon to high purity silicon.
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Froehlich, Robert; Mixon, David, Methods and system for cooling a reaction effluent gas.
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Gupta, Puneet; Erk, Henry F.; Grabbe, Alexis, Methods for producing silane.
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Gupta, Puneet; Erk, Henry F.; Grabbe, Alexis, Methods for producing silane.
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Gupta, Puneet; Huang, Yue; Bhusarapu, Satish, Production of polycrystalline silicon in substantially closed-loop processes that involve disproportionation operations.
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Gupta, Puneet; Huang, Yue; Bhusarapu, Satish, Production of polycrystalline silicon in substantially closed-loop systems that involve disproportionation operations.
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Froehlich, Robert; Fieselmann, Ben; Mixon, David; Tsuo, York, Reactor with silicide-coated metal surfaces.
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Hariharan, Alleppey V.; Ravi, Jagannathan, Recovery of silicon from kerf silicon waste.
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Gupta, Puneet; Erk, Henry F.; Grabbe, Alexis, Systems for producing silane.
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Gupta, Puneet; Erk, Henry F.; Grabbe, Alexis, Systems for producing silane.
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Gupta, Puneet; Erk, Henry; Grabbe, Alexis, Systems for producing silane.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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