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특허 상세정보

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Precision burners for oxidizing halide-free silicon-containing compounds

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C03B-037/018   
미국특허분류(USC) 65/531 ; 65/017.4 ; 65/144 ; 118/724 ; 239/422 ; 239/424 ; 239/424.5
출원번호 US-0729305 (1996-10-15)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Murphy
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 11
초록
▼

A precision burner for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds, such as, octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS), is provided. The burner includes a subassembly (13) which can be precisely mounted on a burner mounting block (107) through the use of an alignment stub (158), a raised face (162) on the burner mounting block (107), and a recess (160) in the back of the subassembly (13). The burner's face includes four concentric gas-emitting regions: a first central region (36, 90) from which exits a mixture of OMCTS and O.sub.2, a second innershiel...

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.] A silicon dioxide containing soot-producing burner comprising:(a) a burner subassembly which comprises:a back block having a plurality of gas-carrying passages,a face block having a central gas-carrying passage and a plurality of gas-carrying passages surrounding the central gas-carrying passage,a manifold plate between the back block and the face block, said manifold plate comprising a plurality of orifices for providing equalization of a pressure of gas flowing through the plurality of gas-carrying passages surrounding the c...

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Kawachi Masao (Mito JPX) Tomaru Satoru (Mito JPX) Edahiro Takao (Mito JPX) Suto Shoichi (Mito JPX). Core torch for fabricating single-mode optical fiber preforms. USP1983094406684.
  2. Cain Michael B. (Corning NY) Dobbins Michael S. (Corning NY). Method and apparatus for vaporization of liquid reactants. USP1994105356451.
  3. Andrejco Matthew J. (North Hanover Township ; Burlington County NJ) Potkay Eugene (Hamilton Township ; Mercer County NJ). Method of fabricating a lightguide fiber. USP1984104474593.
  4. Watanabe Minoru (Kanagawa JPX) Yoshioka Naoki (Kanagawa JPX) Kanamori Hiroo (Kanagawa JPX) Inagaki Nobuo (Ibaraki JPX). Method of fabricating optical fiber preforms. USP1990044915717.
  5. Miller Thomas J. (Alpharetta GA) Monroe Douglas W. (Newtown PA). Method of glass soot deposition using ultrasonic nozzle. USP1992055110335.
  6. Powers Dale R. (Painted Post NY). Method of making dry optical waveguides. USP1979084165223.
  7. Dobbins Michael S. (Wilmington NC) McLay Robert E. (Corning NY). Method of making fused silica by decomposing siloxanes. USP1991085043002.
  8. Cain Michael B. (Corning NY) Desorice Robert B. (Corning NY) Kiefer William J. (Horseheads NY) Powers Dale R. (Painted Post NY). Method of using precision burners for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds. USP1997025599371.
  9. Suda Hiroyuki (Mito JPX) Shibata Shuichi (Mito JPX) Nakahara Motohiro (Mito JPX). Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform. USP1989014801322.
  10. Blankenship Michael G. (Corning NY). Reactant delivery system method. USP1982024314837.
  11. Hiraiwa Hiroyuki (Yokohama JPX) Nakagawa Kazuhiro (Hachioji JPX) Jinbo Hiroki (Kawasaki JPX) Takano Jun (Sagamihara JPX) Fujiwara Seishi (Sagamihara JPX). Silica glass member for UV-lithography, method for silica glass production, and method for silica glass member productio. USP1997125702495.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 22

  1. Cognolato, Carlo; Mole′, Francesco; Demergazzi, Andrea; Veronelli, Franco. Burner for chemical vapour deposition of glass. USP2013108567218.
  2. Yoshida, Makoto. Burner for producing glass fine particles and method for manufacturing porous glass base material using the same. USP2012118312744.
  3. Geremew, Muluwork; Hawtof, Daniel Warren; Noni, Jr., Douglas Miles. Burner modules, methods of forming glass sheets, and glass sheets formed thereby. USP2014108857216.
  4. Ball, Laura J.; Lindner, Raymond E.; Misra, Mahendra Kumar; Powers, Dale R.; Wasilewski, Michael H.. Burners for producing boules of fused silica glass. USP2004066751987.
  5. Mileo, Antonio; Demergazzi, Andrea; Pellegrini, Sergio. Disassemblable burner for a vapor deposition process. USP2011088001808.
  6. Hawtof, Daniel Warren; Noll, Brenton Allen; Vemury, Srinivas. Electrostatic method and apparatus to form low-particulate defect thin glass sheets. USP2015129199870.
  7. Roger J. Araujo ; Nicholas F. Borrelli ; Robert E. McLay ; Daniel R. Sempolinski ; Charlene M. Smith. Fused silica with constant induced absorption. USP2002066403508.
  8. Collins, Thomas A.; He, Chunhong; Heckle, Christine E.; Lindner, Raymond E.; Wasilewski, Michael H.. High heat capacity burners for producing fused silica boules. USP2004056735981.
  9. Akihiro Kanao JP; Toshihiro Mikami JP. Hooded torch for synthesizing glass particulates. USP2002016334339.
  10. Bankaitis, Jonas; Bhagavatula, Venkata Adiseshaiah; Hawtof, Daniel Warren; Li, Xinghua; Merz, Gary Edward; Stone, III, John. Laser sintering system and method for forming high purity, low roughness silica glass. USP2016089422187.
  11. Hrdina,Kenneth E.; Maxon,John E.; Wasilewski,Michael H.. Light weight porous structure. USP2006016988378.
  12. Kenneth E. Hrdina ; Daniel R. Sempolinski ; Michael H. Wasilewski ; C. Charles Yu. Light weight porous structure. USP2002056387511.
  13. Hawtof, Daniel Warren; Mozdy, Eric John. Locally-sintered porous soot parts and methods of forming. USP2016099452946.
  14. Noni, Jr., Douglas Miles. Method and apparatus for removing glass soot sheet from substrate. USP2013058438876.
  15. Hrdina, Kenneth E.; Russo, Nikki J.; Wasilewski, Michael H.. Method for producing fused silica and doped fused silica glass. USP2003086606883.
  16. Miyasaka, Junko; Koike, Akio; Ogawa, Tomonori; Kawagishi, Masahiro. Method for producing glass body and method for producing optical member for EUV lithography. USP2013108567214.
  17. Ishihara, Tomohiro; Yamazaki, Takashi. Method for producing glass particulate deposit and method for producing glass preform. USP2017069676657.
  18. Hawtof, Daniel Warren; Noni, Jr., Douglas Miles. Roll-to-roll glass material attributes and fingerprint. USP2011118062733.
  19. Coffey, Calvin Thomas; Hawtof, Daniel Warren; Zinn, Stanley. Roll-to-roll glass soot sheet sintering method and apparatus. USP2012058181485.
  20. Hawtof, Daniel Warren. Roll-to-roll glass: touch-free process and multilayer approach. USP2013018359884.
  21. Blette,Russell E.; Frederickson,Franklyn L.; Joseph,Stephen C. P.; Qiblawi,Jameel R.. Spray gun platform mounting. USP200705D542375.
  22. Hawtof, Daniel Warren. Thin glass sheet with tunable coefficient of thermal expansion. USP2016049321669.

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