[특허]Grazing incidence interferometry for measuring transparent plane-parallel plates

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[미국특허] Grazing incidence interferometry for measuring transparent plane-parallel plates 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01B-009/02
출원번호	US-0975145 (1997-11-20)
발명자 / 주소	Dewa Paul G. Kulawiec Andrew W.
출원인 / 주소	Tropel Corporation
대리인 / 주소	Eugene Stephens & Associates
인용정보	피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 7

초록 ▼

A grazing incidence interferometer includes an extended light source for limiting spatial coherence of reference and test beams. A test plate is oriented at a grazing incidence to the test beam so that a first portion of the test beam is reflected from the front surface of the test plate, a second portion of the test beam is reflected from the back surface of the test plate, and the two test beam portions are sheared with respect to each other. The spatial coherence of the test beam is related to the lateral shear between the first and second test beam portions to significantly reduce contrast of an interference fringe pattern between the front and back surfaces of the test plate. Also, the reference beam is realigned with just one of the two test beam portions to favor the formation of an interference pattern between the reference surface and one of the front and back surfaces of the test plate over the formation of an interference pattern between the reference surface and the other of the front and back surfaces of the test plate.

대표청구항 ▼

[ We claim:] [1.] A grazing incidence interferometer for measuring transparent test plates comprising:an extended light source that is sized to regulate a degree of spatial coherence in a primary beam;a beamsplitter that divides the primary beam into reference and test beams having limited degrees of spatial coherence;a test plate support that mounts a test plate having a front surface and a back surface;said support being arranged for orienting the test plate at a non-normal angle of incidence to the test beam so that a first portion of the test beam is reflected from the front surface of the test plate, a second portion of the test beam is reflected from the back surface of the test plate, and the first and second portions of the test beam are sheared with respect to each other;said extended light source also being sized to limit spatial coherence of the test beam in relation to the relative shear between the first and second portions of the test beam for significantly reducing contrast of an interference fringe pattern between the front and back surfaces of the test plate;an alignment mechanism that realigns only one of the first and second portions of the test beam with the reference beam for favoring the formation of an interference pattern between the reference surface and one of the front and back surfaces of the test plate over the formation of an interference pattern between the reference surface and the other of the front and back surfaces of the test plate; andsaid alignment mechanism providing for relatively moving the reference beam into a position of lateral alignment with the one test beam portion without also relatively moving the reference beam into a position of lateral alignment with the other of the test beam portions.

이 특허에 인용된 특허 (7) 인용/피인용 타임라인 분석

Inoue Katsuyo (Hino JPX), Flatness examining device.
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Jaerisch Walter (Boeblingen DEX) Makosch Genter (Sindelfingen DEX), Interferometric measurement with l 상세보기

Kimura ; Yoshiaki ; Ito ; Hiroshi, Light interference device with low degree of spacial coherence.

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Steimle Lawrence J. (Arcadia CA) Thiessen David L. (Pasadena CA), Method and apparatus for removing unwanted reflections from an interferometer.

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Korner Klaus (Schoneiche DEX) Holger Fritz (Berlin DEX) Nyarsik Lajos (Berlin DEX) Spur Gunter (Berlin DEX) Uhlmann Eckart (Berlin DEX), Method and apparatus utilizing an optical stage for topographic surface analysis.

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de Groot Peter (Middletown CT), Methods and apparatus for profiling surfaces of transparent objects.

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Moore Robert C. (Rochester NY), Phase modulation of grazing incidence interferometer.

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이 특허를 인용한 특허 (28) 인용/피인용 타임라인 분석

Hansen,Matthew E., Apparatus for optical beam shaping and associated methods.
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Hansen,Matthew E., Apparatus for optical beam shaping and diffusing and associated methods.
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Tervo, Jani Kari Tapio; Vallius, Tuomas Heikki Sakari; Honkanen, Seppo Kalevi, Avoiding interference by reducing spatial coherence in a near-eye display.
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Prelewitz,David; Gray,Robert; Gerchberg,Rolf; Weiner,Michael, Digital imaging assembly and methods thereof.
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Lee, Christopher A.; Tronolone, Mark J.; Kulawiec, Andrew W., Fringe pattern discriminator for grazing incidence interferometer.
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Muller, Dieter; Kavaldjiev, Daniel; Schierle, Rainer, Grazing and normal incidence interferometer having common reference surface.
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Azuma, Motoo, Image pickup device.
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Azuma, Motoo, Image pickup device capturing a plurality of images that have different viewing angles.
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Azuma, Motoo, Image pickup device utilizing optical distortion characteristic.
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De Lega,Xavier Colonna; De Groot,Peter J.; Kuchel,Michael, Low coherence grazing incidence interferometry for profiling and tilt sensing.
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Newman, John W., Method and apparatus for monitoring wind turbine blades during operation.
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Newman, John W., Method and apparatus for remote feature measurement in distorted images.
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Newman, John W., Method and apparatus for the remote nondestructive evaluation of an object using shearography image scale calibration.
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Hill, Henry A., Method and apparatus to reduce effects of sheared wavefronts on interferometric phase measurements.
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Wälti, Rudolf; Schmid, Gregor F., Method and device for measuring the optical properties of at least two regions located at a distance from one another in a transparent and/or diffuse object.
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Wertheimer, Alan L.; Hannon, John J., Method for measuring magnification of an afocal optical system.
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Hansen,Matthew E, Methods for optical beam shaping and diffusing.
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Cornsweet, Tom N., Non-invasive blood glucose monitoring by interferometry.
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Newman, John W., Nondestructive acoustic doppler testing of wind turbine blades from the ground during operation.
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Mumola Peter B., Process for improving uniform thickness of semiconductor substrates using plasma assisted chemical etching.
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Mueller,Dieter; Kavaldjiev,Daniel Ivanov; Schierle,Rainer, Reduced coherence symmetric grazing incidence differential interferometer.
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Mueller,Dieter; Schierle,Rainer; Kavaldjiev,Daniel, Reduced coherence symmetric grazing incidence differential interferometer.
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Winker, Bruce K.; Wen, Bing; Ma, Jian, SNR enhancement in modulating retroreflector optical communication links.
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Khomenko, Anton S.; Haq, Mahmoodul; Cloud, Gary L., Scanning interferometry technique for through-thickness evaluation in multi-layered transparent structures.
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Newman, John W., System and method for ground based inspection of wind turbine blades.
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Neily, Richard A.; McCreath, William, System of fabricating plane parallel substrates with uniform optical paths.
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Neily, Richard A.; McCreath, William; Parker, David, Technique for fabricating high quality optical components.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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