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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0736970 (1996-10-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 11 |
A valve to allow digitally addressable flow controllers is provided. An array of micromachined valves having a range of flow capacities and individually addressable while functioning in an On/Off mode allows flow controllers and similar devices high resolution, linearity and reproducibility. The inc
[ What is claimed is:] [1.] A micromachined valve actuated by a piezoelectric thin-film actuator for controlling flow of a working fluid, comprising:a top component having a plurality of piezoelectric actuators disposed such as to move a corresponding diaphragm in proximity to each of the plurality
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