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Hot filament CVD of diamond films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-016/26
출원번호 US-0489638 (1995-06-12)
우선권정보 JP-0130501 (1994-06-13)
발명자 / 주소
  • Oji Masataka,JPX
  • Fujimori Naoji,JPX
출원인 / 주소
  • Sumitomo Electric Industries, Ltd., JPX
대리인 / 주소
    Wenderoth, Lind & Ponack, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 16  인용 특허 : 10

초록 ▼

An object of the invention is to provide a high quality synthetic diamond having a high bonding strength between a substrate surface and synthetic diamond or between synthetic diamond films. The object can be attained by a process for the synthesis of diamond comprising pre-heating mixed gases of a

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A process for the synthesis of diamond comprising pre-heating mixed gases of a hydrocarbon and hydrogen by a heated metal body, carburizing a surface of the metal body, and feeding the heated mixed gases to a heated substrate surface to deposit diamond thereon, wherein th

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Komaki Kunio (358-225 Tokyo JPX) Fujimaki Takashi (358-225 Tokyo JPX) Yanagisawa Masaaki (358-225 Tokyo JPX) Hirose Yoichi (358-225 Showa-Machi ; Komeejima ; Kitakatsushika-gun ; Saitama 344-01 JPX), Composite diamond grain.
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  2. Kalyankjumar Das (Raleigh NC) Dreifus David L. (Cary NC) Tessmer Alison J. (Cary NC) Venkatesan Vasudev (Raleigh NC), Diamond field-effect transistor with a particular boron distribution profile.
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  3. Kimoto Tunenobu (Hyogo JPX) Tomikawa Tadashi (Hyogo JPX) Fujita Nobuhiko (Hyogo JPX), Diamond semiconductor device with a non-doped diamond thin film between a diamond active layer and a substrate.
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  4. Anthony Thomas R. (Niskayuna NY) Fleischer James F. (Scotia NY) Ettinger Robert H. (Schenectady NY), HF-CVD method for forming diamond.
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  5. Wu Ching-Hsong (Farmington Hills MI) Tamor Michael A. (Toledo OH) Potter Timothy J. (Dearborn MI), Hot filament method for growing high purity diamond.
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  6. Purdes Andrew J. (Garland TX) Celii Francis G. (Dallas TX), Method for forming patterned diamond thin films.
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  7. Kimoto Tsunenobu (Hyogo JPX) Tomikawa Tadashi (Hyogo JPX) Fujita Nobuhiko (Hyogo JPX), Method of growing thin film.
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  8. Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX), Method of manufacturing diamond thermistors.
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  9. Imai Takahiro (Hyogo JPX) Fujimori Naoji (Hyogo JPX), Method of producing single crystal of high-pressure phase material.
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  10. Anthony Thomas R. (Schenectady NY) Fleischer James F. (Scotia NY), Smooth surface CVD diamond films and method for producing same.
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이 특허를 인용한 특허 (16)

  1. Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo ; Thomsen Scott V., Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method.
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  2. Gleason, Karen K.; Murthy, Shashi K., Fluorocarbon-organosilicon copolymers and coatings prepared by hot-filament chemical vapor deposition.
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  3. Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo ; Thomsen Scott V., Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate.
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  4. Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo, Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate.
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  5. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Low-E coating system including protective DLC.
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  6. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl, Method of depositing DLC inclusive coating on substrate.
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  7. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Method of deposition DLC inclusive layer(s) using hydrocarbon and/or siloxane gas(es).
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  8. Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo, Method of ion beam milling a glass substrate prior to depositing a coating system thereon, and corresponding system for carrying out the same.
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  9. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl, Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon.
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  10. Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo, Method of making a coated article including DLC and FAS.
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  11. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Method of making coated article including diamond-like carbon (DLC) and FAS.
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  12. Ravi, Kramadhati V.; Garner, Michael C., Methods of forming a high conductivity diamond film and structures formed thereby.
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  13. Ravi,Kramadhati V.; Garner,Michael C., Methods of forming a high conductivity diamond film and structures formed thereby.
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  14. Ravi,Kramadhati V.; Garner,Michael C., Methods of forming a high conductivity diamond film and structures formed thereby.
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  15. Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo; Thomsen, Scott V., Solar management coating system including protective DLC.
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  16. Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Solar management coating system including protective DLC.
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