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Bulk chemical delivery system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65B-001/04
출원번호 US-0046907 (1998-03-24)
발명자 / 주소
  • Noah Craig M.
  • Gregg John N.
  • Jackson Robert M.
  • Esser Craig
출원인 / 주소
  • Advanced Delivery & Chemical Systems, Ltd.
대리인 / 주소
    Jones, O'Keefe, Egan & Peterman
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 24

초록

A bulk chemical delivery system, having a bulk chemical canister that is connected to at least one manifold box, wherein each manifold box has at least two output lines, wherein each output line connects to a secondary canister. The bulk chemical canister may have a capacity of 200 liters. The bulk

대표청구항

[ What is claimed is:] [11.] A bulk chemical supply system, comprising:a cabinet that houses a bulk chemical canister that is connected to a first supply valve manifold; at least one manifold box connected to said first supply valve manifold, wherein said at least one manifold box includes at least

이 특허에 인용된 특허 (24)

  1. Smith Dresden G. (1621 English Dr. San Jose CA 95129), Air and water volume control apparatus for hydropneumatic tanks.
  2. Geatz Tobin (Durham NC), Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals.
  3. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
  4. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
  5. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf Ha, Chemical refill system.
  6. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H, Chemical refill system.
  7. Goossens Dirk (Sint Niklaas BEX) Boeglin Herman J. (South Meriden CT), Computer-controlled chemical dispensing with alternative operating modes.
  8. Sawada Ryoji (Mori JPX) Yamamoto Satoshi (Mori JPX), Fluid level indicator for small watercraft.
  9. Morales Gerald A. (Simi Valley CA), Jet level sensor for fuel tanks.
  10. McKiernan Edward (Big Prairie OH) Bailey Ronald J. (Big Prairie OH) Sigler James A. (Big Prairie OH), Level indicating in vehicle holding tanks.
  11. Senghaas Karl A. (434 Forrest Hill San Antonio TX 78209) Senghaas Peter (334 Olney San Antonio TX 78209), Liquid level measuring apparatus.
  12. Bongort Edgar A. (Southfield MI) Cruickshank William T. (Pontiac MI), Liquid level sensor.
  13. Bongort Edgar A. (Southfield MI) Cruickshank William T. (Pontiac MI), Liquid level sensor.
  14. Miyazaki Shinji (Yokohama JPX) Tsunashima Yoshitaka (Tokyo JPX), Liquid source container device.
  15. Schumacher John C. (Oceanside CA) Lagendijk Andre (Oceanside CA), Liquid source material container and method of use for semiconductor device manufacturing.
  16. Lew Hyok S. (7890 Oak St. Arvada CO 80005), Magnetically activated multiple switch level detector.
  17. Yamazaki Masahiro (Yokohama JPX) Iizuka Shigeru (Yokohama JPX) Kamiya Shigemitsu (Kawasaki JPX) Oka Yoshiro (Yokohama JPX) Fujino Katsuhiro (Yokohama JPX), Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can.
  18. Jones Michael E. (Barsted GB3) Kenward Andrew J. (London GB3), Method of and apparatus for packaging a beverage in a container.
  19. Schumacher John C. (Oceanside CA) Lagendijk Andre (Oceanside CA), Method of shipping and using semiconductor liquid source materials.
  20. Goossens Dirk (St. Niklass BEX), Modular bubbler container automatic refill system.
  21. Rowe ; Jr. Edward A. (North Perry OH), Process for removing undesirable substances from electrical devices.
  22. Randtke Peter T. (La Costa CA) Graf Hans-Juergen (Oceanside CA), Ultra high purity reagent container with large breakseal.
  23. McMenamin Joseph C. (Oceanside CA), Vapor mass flow control system.
  24. Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX), Vented vacuum semiconductor wafer cassette.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Christopher S. Blatt ; Richard H. Pearce ; Graham Williams GB; Edward H. Wentworth, III, Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals.
  2. Craig M. Noah ; John N. Gregg ; Robert M. Jackson ; Craig Esser, Bulk chemical delivery system.
  3. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
  4. Birtcher Charles Michael ; Steidl Thomas Andrew ; Sheehy William J., Chemical delivery system with spill containment door.
  5. Larson,Dean J.; Kadkhodayan,Babak; Wu,Di; Takeshita,Kenji; Yen,Bi Ming; Su,Xingcai; Denty, Jr.,William M.; Loewenhardt,Peter, Gas distribution system with tuning gas.
  6. DeStefano Mark ; Eoff ; Sr. James Dean ; Schulte Thomas H. ; Anderson John M. ; Yau Eng Chin ; Ruggeri Donald R. ; Baldwin David W. ; Badino Charles Lawrence, Method and system for supplying semiconductor source material.
  7. Annapragada, Rao V.; Turmel, Odette; Takeshita, Kenji; Zheng, Lily; Choi, Thomas S.; Pirkle, David R., Method for providing uniform removal of organic material.
  8. Chism, Richard D.; Krell, Andy, Refillable ampoule with purge capability.
  9. Larson, Dean J.; Kadkhodayan, Babak; Wu, Di; Takeshita, Kenji; Yen, Bi-Ming; Su, Xingcai; Denty, Jr., William M.; Loewenhardt, Peter, Uniform etch system.
  10. Jacobsen, Larry Eugene; Israelsen, David L.; Swenson, Jody A., Vibrating wire sensor using spectral analysis.
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