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Probe and a cantilever formed with same material 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G11B-009/00
  • G02B-021/00
출원번호 US-0786181 (1997-01-21)
우선권정보 JP-0025902 (1996-01-19)
발명자 / 주소
  • Ikeda Tsutomu,JPX
  • Yagi Takayuki,JPX
  • Shimada Yasuhiro,JPX
출원인 / 주소
  • Canon Kabushiki Kaisha, JPX
대리인 / 주소
    Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 10

초록

A probe has a metal tip on a cantilever. A diffused layer made from a metal silicide is formed at an interface between the tip and the cantilever. In the diffused layer, a material for forming the cantilever and a material for forming the tip are diffused.

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A probe having a metal tip on a cantilever, comprising:a diffused layer which is formed at an interface between said tip and said cantilever and in which a material forming said cantilever and a material forming said tip are diffused.

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Watanabe Shunji,JPX ; Fujiu Takamitsu,JPX, Cantilever and process for fabricating it.
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  2. Kado Hiroyuki (Osaka JPX) Tohda Takao (Ikoma JPX), Cantilever for atomic force microscope and method of manufacturing the same.
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  3. Yagi Takayuki (Machida JPX) Hirai Yutaka (Tokyo JPX) Takamatsu Osamu (Atsugi JPX) Nakayama Masaru (Atsugi JPX) Kasanuki Yuji (Machida JPX) Shimada Yasuhiro (Atsugi JPX) Yamamoto Keisuke (Yamato JPX) , Cantilever probe and apparatus using the same.
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  4. Suzuki Yoshio (Atsugi JPX) Hirai Yutaka (Tokyo JPX) Takamatsu Osamu (Atsugi JPX) Nakayama Masaru (Atsugi JPX) Yagi Takayuki (Machida JPX) Kasanuki Yuji (Isehara JPX) Yamamoto Keisuke (Yamato JPX) Shi, Cantilever type displacement element, and scanning tunneling microscope or information processing apparatus using same.
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  5. Nose, Hiroyasu; Sakai, Kunihiro; Kawase, Toshimitsu; Miyazaki, Toshihiko; Shinjo, Katsuhiko; Hirai, Yutaka; Yagi, Takayuki; Hatanaka, Katsunori; Yamamoto, Keisuke; Kasanuki, Yuki; Suzuki, Yoshio, Cantilever type probe, scanning tunnel microscope and information processing apparatus using the same.
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  6. Li Chou H. (379 Elm Dr. Roslyn NY 11576), Ceramic bonding method.
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  7. Kawasaki Takehiko (Atsugi JPX) Yamamoto Keisuke (Yamato JPX) Suzuki Yoshio (Atsugi JPX), Displacement element, probe employing the element, and apparatus employing the probe.
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  8. Albrecht Thomas R. (Stanford CA) Akamine Shinya (Stanford CA) Carver Thomas E. (Mountain View CA) Zdeblick Mark J. (Los Altos Hills CA), Method of forming microfabricated cantilever stylus with integrated pyramidal tip.
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  9. Shimada Yasuhiro (Atsugi JPX) Okamura Yoshimasa (Tokyo JPX) Takamatsu Osamu (Atsugi JPX) Nakayama Masaru (Atsugi JPX) Yanagisawa Yoshihiro (Isehara JPX), Method of manufacturing a tip for scanning tunneling microscope using peeling layer.
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  10. Zavracky Paul M. (Norwood MA) Senturia Stephen D. (Boston MA) Morrison ; Jr. Richard H. (Taunton MA), Resonant hollow beam and method.
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이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Song, Kibong; Kim, Eunkyoung; Lee, Sung Qyu; Park, Kang Ho; Kim, Jun Ho, Cantilever-type near-field probe for optical data storage and method of manufacturing the same.
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  2. Britton ; Jr. Charles L. ; Warmack Robert J. ; Bryan William L. ; Jones Robert L. ; Oden Patrick Ian ; Thundat Thomas, Capacitively readout multi-element sensor array with common-mode cancellation.
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  3. Chen,Chien Hua; McKinnell,James; Beatty,Chris, Hybrid cantilever and tip.
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  4. Chou, Min Chieh; Tasi, Jiu Shu; Wang, Horng Jee; Huang, Ya Ju; Pan, Kun Chih; Chen, Chih Wei; Chang, Jyh Chun, Integrated probe module for LCD panel light inspection.
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  5. Giannuzzi, Lucille A., Method for ex-situ lift-out specimen preparation.
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  6. Aratani Katsuhisa,JPX, Method of and apparatus for recording/reproducing an information signal, recording/reproducing head device, memory medium, and head element.
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  7. Lagahe Blanchard, Chrystelle; Broekaart, Marcel; Castex, Arnaud, Method of bonding by molecular bonding.
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  8. Castex, Arnaud; Broekaart, Marcel, Method of fabricating a multilayer structure with circuit layer transfer.
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  9. Dong Il Kim KR; Young Kyum Ahn KR; Sam Won Chung KR; Byung Chang Song KR; Ha Poong Jeong KR, Micro cantilever style contact pin structure for wafer probing.
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  10. Ito Kenchi,JPX ; Hosaka Sumio,JPX ; Muranishi Masaru,JPX ; Nakamura Kimio,JPX, Near-field optical head and manufacturing method thereof and optical recording/readout system using near-field optical head.
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  11. Shimada, Yasuhiro; Kuroda, Ryo, Probe with hollow waveguide and method for producing the same.
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  12. Shimada,Yasuhiro; Kuroda,Ryo, Probe with hollow waveguide and method for producing the same.
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  13. Shimada,Yasuhiro; Kuroda,Ryo, Probe with hollow waveguide and method for producing the same.
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  14. Takahashi, Hirokazu, Probe, manufacturing method of the probe, recording apparatus, and reproducing apparatus.
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  15. Nobuyuki Kasama JP; Norio Chiba JP; Yasuyuki Mitsuoka JP; Manabu Oumi JP; Kenji Kato JP; Takashi Niwa JP; Kunio Nakajima JP, Recording apparatus.
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  16. Shigeno, Masatsugu; Watanabe, Kazutoshi; Watanabe, Masafumi; Yamamoto, Hiroyoshi; Chinone, Kazuo, Scanning probe microscope and probe contact detection method.
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  17. Watanabe,Hiroshi; Ikeda,Tatsuji; Takahashi,Kazuya, Semiconductor integrated circuit testing device and method.
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  18. McDaniel, Terry W.; Valet, Thierry R., Write head and method for recording information on a data storage medium.
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