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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0911845 (1997-08-15) |
우선권정보 | JP-0176715 (1997-07-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 6 |
A thin film forming apparatus includes a specimen holder on which a substrate for thin film formation is placed, a transfer plate opposing the specimen holder, on which a sheet film having a thin film formed on a surface is placed, a thin film forming chamber comprising the specimen holder and the t
[ What is claimed is:] [1.] A thin film forming method of transferring a thin film formed on a sheet film to a substrate using a transfer plate, where said thin film is a film of insulating material, comprising:the first step of making said transfer plate contact a rear surface of said sheet film;th
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