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Micromachining method and micromachined structure 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
  • B44C-001/22
출원번호 US-0769376 (1996-12-19)
우선권정보 JP-0050582 (1996-03-07)
발명자 / 주소
  • Muramatsu Hiroshi,JPX
출원인 / 주소
  • Seiko Instruments Inc., JPX
대리인 / 주소
    Adams & Wilks
인용정보 피인용 횟수 : 36  인용 특허 : 5

초록 ▼

A minute structure such as a cantilever 11 is formed on a silicon substrate 10 and heated by irradiating a laser beam to a part of the cantilever 11, by which the cantilever 11 is bent. The two bent cantilevers 11 are inserted into through holes 14 in a crystal substrate 10 formed in advance, and th

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A method of fabricating a microstructure having a second shape from a microstructure having a first shape, comprising the step of:plastically deforming the microstructure having the first shape by heating a portion thereof to form a microstructure having the second shape.

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Ciarlo Dino R. (Livermore CA), (110) Oriented silicon wafer latch accelerometer and process for forming the same.
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  2. Mukae Hideaki (Sanda JPX) Higashionji Masaru (Katano JPX) Murata Akio (Ibaraki JPX) Maegawa Takaaki (Neyagawa JPX), Magnetic head installed on a rotary drum and method for adjusting the head height.
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  3. Chau Kevin H. L. (North Andover MA) Saltmarsh Michael P. (Concord NH) Church Deborah A. (Pepperell MA), Method for fabricating microstructures using temporary bridges.
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  4. MacDonald Noel C. (Ithaca NY) Yao Jun J. (Ithaca NY), Multi-dimensional precision micro-actuator.
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  5. Aine Harry E. (8601 Signal Ridge Rd. ; Box 304 Philo CA 95466) Block Barry (30610 Page Mill Rd. Los Altos CA 94022), Solid state transducer and method of making same.
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이 특허를 인용한 특허 (36)

  1. Ward,Billy W., Atomic level ion source and method of manufacture and operation.
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  2. Shigeno, Masatsugu; Matsuzawa, Osamu; Watanabe, Naoya; Nihei, Amiko; Inoue, Akira; Shirakawabe, Yoshiharu; Muramatsu, Hiroshi; Yamamoto, Yuji, Cantilever and cantilever manufacturing method.
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  3. Notte, IV, John A., Determining dopant information.
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  4. Tuszynski,Jack; Woolf,Nancy J., Drug delivery apparatus utilizing cantilever.
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  5. Deng, Tao; Arias, Francisco; Ismagilov, Rustem F.; Kenis, Paul J. A.; Whitesides, George M., Fabrication of metallic microstructures via exposure of photosensitive compostion.
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  6. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  7. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  8. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  9. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  10. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  11. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  12. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Edinger, Klaus; Markwort, Lars; Aderhold, Dirk; Mantz, Ulrich, Ion sources, systems and methods.
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  13. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Edinger, Klaus; Markwort, Lars; Aderhold, Dirk; Mantz, Ulrich, Ion sources, systems and methods.
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  14. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Groholski, Alexander; Comunale, Richard, Ion sources, systems and methods.
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  15. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Groholski, Alexander; Comunale, Richard, Ion sources, systems and methods.
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  16. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Mantz, Ulrich; Steigerwald, Michael, Ion sources, systems and methods.
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  17. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Markwort, Lars; Aderhold, Dirk, Ion sources, systems and methods.
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  18. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, III, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; McVey, Shawn; Bihr, Johannes, Ion sources, systems and methods.
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  19. Ward, Billy W.; Notte, IV, John A.; Farkas, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Edinger, Klaus; Markwort, Lars; Aderhold, Dirk; Mantz, Ulrich, Ion sources, systems and methods.
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  20. Ward, Billy W.; Notte, John A.; Farkas, Louis S.; Percival, Randall G.; Hill, Raymond; Edinger, Klaus; Markwort, Lars; Aderhold, Dirk; Mantz, Ulrich, Ion sources, systems and methods.
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  21. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  22. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  23. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  24. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond, Ion sources, systems and methods.
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  25. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond; Edinger,Klaus; Markwort,Lars; Aderhold,Dirk; Mantz,Ulrich, Ion sources, systems and methods.
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  26. Ward,Billy W.; Notte, IV,John A.; Farkas, III,Louis S.; Percival,Randall G.; Hill,Raymond; Markwort,Lars; Aderhold,Dirk, Ion sources, systems and methods.
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  27. Hilt, Thierry; Boutry, Herve; Franiatte, Remy; Moreau, Stephane, Method for manufacturing a microelectronic device and a microelectronic device thus manufactured.
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  28. Khoury, Theodore A.; Frame, James W., Method of producing contact structure.
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  29. Scott D. Collins, Microjoinery methods and devices.
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  30. Gianchandani,Yogesh B.; McNamara,Shamus P.; Lee,Joohyung; Basu,Amar, Micromachined arrayed thermal probe apparatus, system for thermal scanning a sample in a contact mode and cantilevered reference probe for use therein.
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  31. Gianchandani, Yogesh B.; Li, Mo-Huang; Wu, Julius, Micromachined scanning thermal probe method and apparatus.
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  32. Datskos, Panagiotis George; Lavrik, Nickolay, Nanomechanical electric and electromagnetic field sensor.
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  33. Ward,Billy W., Scanning transmission ion microscope.
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  34. Ward, Billy W.; Farkas, III, Louis S.; Notte, IV, John A.; Percival, Randall G., Systems and methods for a gas field ion microscope.
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  35. Ward, Billy W.; Farkas, Lou; Notte, John A.; Percival, Randall, Systems and methods for a gas field ionization source.
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  36. Ward,Billy W., Transmission ion microscope.
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