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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0526452 (1995-09-11) |
우선권정보 | JP-0222774 (1994-09-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 6 |
A micro-vacuum device comprises a substrates an emitter having a sharp end formed above the substrate, a gate electrode provided above the emitter, and an anode having cooling means provided oppositely to the substrate above the gate electrode.
[ What is claimed is:] [1.] A micro-vacuum power switching device comprising:a vacuum defined by a top seal, a bottom seal and an insulating enclosure which is provided between the seals;a substrate provided on said bottom seal;an emitter formed on said substrate and having a sharp tip;a gate electr
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