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특허 상세정보

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Isotope separation using a high field source and improved collectors

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H01J-037/08   
미국특허분류(USC) 250/423R ; 250/423P ; 315/111.81
출원번호 US-0862605 (1997-05-23)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Dawes
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 16
초록
▼

A plasma chamber for use in isotope enrichment has a microwave feed to the ECRH microwave horns, which feed is led into the plasma chamber behind the sputter plate and perpendicular to the magnetic field for improved microwave waveguide routing and ease of microwave window handling and maintenance. Improved collector design includes a collector assembly placed behind the plasma source comprising a dump plate and flat and shield collector. A ring collector is provided outside the main plasma region in the case where two opposing magnetic mirrors are used ...

대표
청구항
▼

[ We claim:] [1.] An improvement in a plasma chamber having a source region and an enrichment region contained within said plasma chamber, said source region provided with a plasma source for producing a plasma, said improvement comprising:a magnet assembly for generating a shaped magnetic field in said plasma chamber wherein said shaped field provides a higher magnetic field intensity in said source region than in said enrichment region so that as said plasma flows from said source region to said enrichment region, plasma temperature in a direction perp...

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Gil Christophe (Igny FRX) Gonella Christian (Saint Maurice Montcouronne FRX) Louvet Pierre (Palaiseau FRX). Apparatus for isotope separation or mass analysis by a magnetic field. USP1988074757203.
  2. Dandl Raphael A.. Coaxial microwave applicator for an electron cyclotron resonance plasma source. USP1998015707452.
  3. Fite Wade L. (305 Pasadena Drive Pittsburgh PA 15215) Myers Richard L. (Rte. 1 ; Box 225 Harmony PA 16037). Detector for heavy ions following mass analysis. USP1976083973121.
  4. Getty Ward D. (Ann Arbor MI). ECR plasma generation apparatus and methods. USP1995115466295.
  5. Dandl Raphael A. (San Marcos CA). Electron cyclotron resonance plasma source and method of operation. USP1994125370765.
  6. Oomori Tatsuo (Amagasaki JPX) Ono Kouichi (Amagasaki JPX). Ion source. USP1992055115135.
  7. Brunnee Curt (Birkenweg 24 2820 Platjenwerbe DEX) Franzen Jochen (Backskamp 24 2878 Wildenhausen DEX) Meier Stefan (Reinstrasse 68 2800 Bremen DEX). Ionization of organic substances on conveyor means in mass spectrometer. USP1981034259572.
  8. Brunnee Curt (Platjenwerbe DEX) Franzen Jochen (Wildeshausen DEX) Meier Stefan (Bremen DEX). Ionization of organic substances on conveyor means in mass spectrometer. USP1979124178507.
  9. Dawson ; John Myrick. Isotope separation by magnetic fields. USP1978034081677.
  10. Eastlund Bernard John (6615 Chancellor Dr. Spring TX 77379). Method and apparatus for ionizing all the elements in a complex substance such as radioactive waste and separating some. USP1997105681434.
  11. Huffman Fred N. (Sudbury MA). Method and apparatus for producing negative ions. USP1981114298798.
  12. Alton Gerald D. (Kingston TN). Microwave electron cyclotron electron resonance (ECR) ion source with a large, uniformly distributed, axially symmetric,. USP1996045506475.
  13. Kidd Philip W. (Rancho Palos Verdes CA). Plasma plating apparatus and method. USP1990054925542.
  14. Hiroshi Nishimura (Kanagawa JPX) Toshiro Ono (Kanagawa JPX) Seitaro Matsuo (Kanagawa JPX). Plasma processing apparatus. USP1995025389154.
  15. Patterson Paul L. (2212 Brampton Rd. Walnut Creek CA 94598). Thermionic detector with multiple layered ionization source. USP1985064524047.
  16. Kantrowitz Arthur (Cambridge MA). Wide angle isotope separator. USP1976023940615.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 9

  1. Lane, Glenn E.. Adjustable mass resolving aperture. USP2016119496120.
  2. Lane, Glenn E.. Adjustable mass resolving aperture. USP20180910083815.
  3. Lane, Glenn E.. Adjustable mass resolving aperture. USP2016079401260.
  4. Schenter, Robert E.; Wester, Dennis W.; Hollenberg, Glenn W.; Rapko, Brian M.; Lumetta, Gregg J.. Medical radioisotopes and methods for producing the same. USP2012028126104.
  5. Pronko, Peter P.; Vanrompay, Paul A.; Nees, John; Zhang, Zhiyu. Method for laser induced isotope enrichment. USP2003076586696.
  6. Lane, Glenn. Spatial segregation of plasma components. USP2013028368033.
  7. Lane, Glenn E.. Spatial segregation of plasma components. USP2014128916834.
  8. Lane, Glenn E.. Spatial segregation of plasma components. USP2014068754383.
  9. Garza,Frederico; Wright,Michael; Peterson,Karl. Utilization of an ion gauge in the process chamber of a semiconductor ion implanter. USP2006037009193.

IPC 상위 출원인