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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0127344 (1998-07-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 7 |
A method and apparatus for conditioning a polishing pad. In this method and apparatus a glazed polishing pad is conditioned by being contacted with a stream of cryogenic pellets.
[ Having thus described my invention, what I claim as new, and desire to secure by Letters Patent is:] [1.] A method of conditioning a glazed polishing pad having a glaze therein comprising a step of contracting said glazed polishing pad with a stream of cryogenic particles whereby said glaze on sai
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