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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0105420 (1998-06-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 7 |
Method is provided for controlling the concentration of a dopant introduced into an epitaxial film during CVD or sublimation growth by controlling the energy of dopant atoms impinging on the film in a supersonic beam. Precursor materials may also be introduced by supersonic beam. Energy of the dopan
[ What we claim is:] [1.] A method for doping a semiconductor film during epitaxial growth by chemical vapor deposition or sublimation, comprising the steps of:providing a substrate at a selected temperature in a growth chamber having selected pressure conditions suitable for epitaxial growth;introd
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