[특허]Method of forming micro-sensor thin-film anemometer

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01R-003/00
출원번호	US-0698559 (1996-08-15)
발명자 / 주소	Sheplak Mark McGinley Catherine B. Spina Eric F. Stephens Ralph M. Hopson Jr. Purnell Cruz Vincent B.
출원인 / 주소	The United States of America as represented by the United States National Aeronautics and Space Administration
대리인 / 주소	Blackburn
인용정보	피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 10

초록 ▼

A device for measuring turbulence in high-speed flows is provided which includes a micro-sensor thin-film probe. The probe is formed from a single crystal of aluminum oxide having a 14.degree. half-wedge shaped portion. The tip of the half-wedge is rounded and has a thin-film sensor attached along the stagnation line. The bottom surface of the half-wedge is tilted upward to relieve shock induced disturbances created by the curved tip of the half-wedge. The sensor is applied using a microphotolithography technique.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A method forming a thin-film probe, comprising the steps of:providing a substrate of single crystal of aluminum oxide;forming the substrate into a half-wedge shape having a tip with a radius of curvature less than 5 mm and a r.m.s. surface finish of not more than 1 microinch;forming a thin-film sensor on the tip of the substrate, wherein the steps of forming the thin-film further comprises:depositing a layer of copper on the curved tip of the substrate;depositing a layer of positive-phase photoresist onto the copper layer;drying the photoresist layer;contact printing a negative of a sensor shape into the photoresist layer along the stagnation line of the tip of the substrate using ultraviolet light;developing the photoresist to leave a sensor-shaped opening to the copper layer;etching the copper layer to produce a corresponding sensor-shaped opening to the substrate;removing the layer of photoresist;depositing a layer of niobium onto the substrate through the sensor-shaped opening in the copper layer;depositing a layer of iridium onto the niobium layer through the sensor-shaped opening in the copper layer;removing the copper layer; andannealing the substrate having the thin-film sensor in a hard vacuum at approximately 1000.degree. C. to stabilize the resistance of the thin-film sensor.

이 특허에 인용된 특허 (10) 인용/피인용 타임라인 분석

Sumal Jaihind S. (Vaihingen/Ensingen DEX), Apparatus for measuring the mass of a flowing medium and method for producing an apparatus for measuring the mass of a f.
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Djorup Robert S. (Wellesley MA), Directional hot film anemometer transducer.
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Beyrich Hans (Ludwigsburg DEX) Gneiss Heinz (Freiberg/Geisingen DEX), Flow rate meter.
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Uramachi Hiroyuki (Himeji JPX), Heat-sensitive flow rate sensor.
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Ohyama Yoshishige (Katsuta JPX) Nishimura Yutaka (Katsuta JPX) Yamauchi Teruo (Katsuta JPX) Kuroiwa Hiroshi (Hitachi JPX) Ohsuga Minoru (Hitachi JPX) Kirisawa Tadashi (Katsuta JPX), Hot-wire type flow velocity meter.
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Lefteriou Nicholas (Waltham MA) Rieven Steve (Southboro MA) Cohen Charle (Sharon MA), In-line dual element fluid flow probe.
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Myers Donald O. (Carpentersville IL) Venclovas Ruta J. (Western Springs IL), Post seal etching of transducer diaphragm.
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Gruner Heiko (Gerlingen DEX) Friedrich Heinz (Stuttgart DEX), Probe for measuring flow rate and/or temperature of a flowing medium.
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Djorup Robert S. (20 Lovewell Rd. Wellesley MA 02181-6315), Thermal anemometer transducer wind set.
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Yajima Yasuhito (Nagoya JPX), Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress.
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이 특허를 인용한 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

Wu,Genfa; Phillips,Harry Lawrence, Cryogenic vacuumm RF feedthrough device.
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Pernod, Philippe Jacques; Gimeno Monge, Leticia; Talbi, Abdelkrim; Merlen, Alain; Viard, Romain Victor Jean; Mortet, Vincent; Soltani, Ali; Preobrazhensky, Vladimir, Hot-wire sensor of submillimeter size and associated method of production.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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