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Liquid dispensing apparatus and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B67B-007/00
  • B67D-005/08
출원번호 US-0950150 (1997-10-14)
발명자 / 주소
  • Pozniak Peter M.
  • Roberts Benjamin R.
출원인 / 주소
  • The BOC Group, Inc.
대리인 / 주소
    Rosenblum
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 1

초록

A liquid dispensing method and apparatus in which liquid is dispensed from chambers, that can be pressure vessels, to a flow circuit. A valve network is designed such that when one chamber functions in a dispense mode of operation another chamber functions in a return mode of operation in which unus

대표청구항

[ We claim:] [1.] An apparatus for dispensing a liquid to at least one point of use, said apparatus comprising:a plurality of chambers, each having dispense, return and fill modes of operation in which liquid is driven therefrom, unused liquid is returned, and new liquid is introduced, respectively;

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Ferri ; Jr. Edward T. (Gilroy CA) Geatz J. Tobin (Durham NC), Process and apparatus for electronic control of the transfer and delivery of high purity chemicals.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Nicholes, Mary Kristin; Carlson, Stephen John; Litchy, Mark R., Apparatus and method for sampling a chemical-mechanical polishing slurry.
  2. Gerken, David, Control of fluid conditions in bulk fluid distribution systems.
  3. Lurcott, Steven M.; Hughes, John E. Q.; Wrschka, Peter; Baum, Thomas H.; Ware, Donald D.; Zou, Peng, Fluid processing systems and methods.
  4. Lurcott, Steven M.; Hughes, John E. Q.; Wrschka, Peter; Baum, Thomas H.; Ware, Donald D.; Zou, Peng, Fluid processing systems and methods.
  5. Pozniak, Peter M., Internal leak detection and backflow prevention in a flow control arrangement.
  6. Pozniak, Peter Martin; Provost, Charles Andre; Singh, Rakesh Kumar; Vo, Sau Van; Roberts, Benjamin Rush, Precision liquid mixing apparatus and method.
  7. Pozniak, Peter Martin; Provost, Charles Andre; Singh, Rakesh Kumar; Vo, Sau Van; Roberts, Benjamin Rush, Precision liquid mixing apparatus and method.
  8. Byers, Gary Allen; Derecskei, Bela; Bayer, Benjamin Patrick, Slurry supply and/or chemical blend supply apparatuses, processes, methods of use and methods of manufacture.
  9. Chen, Chao-Chang; Chou, Ping-Shen; Tu, Wei-Kang, Supplying system of adding gas into polishing slurry and method thereof.
  10. French, Shawn, System and process for supplying a chemical agent to a process fluid.
  11. Hughes, John E. Q.; Ware, Donald D.; Lurcott, Steven M.; Wrschka, Peter, Systems and methods for delivery of fluid-containing process material combinations.
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