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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0073874 (1998-05-07) |
우선권정보 | TW-0205035 (1998-04-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
A container of coolant used in a NIKON.TM. stepper is utilizing a transparent duct mounted on a side of the container of coolant to check a liquid level. The container of coolant can be conventional or other similar container of coolant.
[ What is claimed is:] [1.] A coolant container for a stepper, comprising:a container;a chlorofluorocarbon coolant and a coolant inlet, the chlorofluorocarbon coolant contained in the container being odorless, nonpoisonous, nonflammable and non-corrosive;a covering apparatus adapted to close the coo
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