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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0162394 (1998-09-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 3 |
A quartz tank for wet semiconductor wafer processing includes one or more ports extending through the tank for the exchange of fluids with the tank. The openings may be aligned with a T-shaped quartz stem having an enlarged end retained on the interior side of said quartz tank in sealing abutment th
[ What is claimed is:] [1.] A fitting for connecting a tubular stem having external screw threads to tubing having an enlarged end in connection with a quartz tank for treating semiconductor wafers, said fitting comprising:a tubular polymeric member having a first end turned inwardly to engage said
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