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Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs with recycle of vacuum pump diluent 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F25J-003/00
  • B01D-053/22
출원번호 US-0046083 (1998-03-23)
발명자 / 주소
  • Chernyakov Iosif
  • Hsiung Thomas Hsiao-Ling
  • Schwarz Alexander
  • Yang James Hsu-Kuang
출원인 / 주소
  • Air Products and Chemicals, Inc.
대리인 / 주소
    Chase
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 23

초록

Enriched fluorochemical and an enriched diluent streams can be produced from a stream containing diluent gas and fluorochemicals by cryogenic distillation with the enriched diluent stream recycled to the process upstream of the distillation step.

대표청구항

[ What is claimed:] [1.] A process for the separation and recovery of fluorochemicals from a gas stream containing a diluent gas and fluorochemicals by contact of the gas stream with a membrane, comprising the steps of:(a) compressing a gas stream comprising a diluent gas and fluorochemicals to an e

이 특허에 인용된 특허 (23)

  1. Xu Jianguo (Fogelsville PA), Compressed permeate sweep membrane separation process.
  2. Jin Yijian (Tonawanda NY) Fisher Theodore F. (Amherst NY), Cryogenic rectification system for fluorine compound recovery.
  3. Chernyakov Iosif ; Hsiung Thomas Hsiao-Ling ; Schwarz Alexander ; Yang James Hsu-Kuang, Fluorochemical recovery and recycle using membranes.
  4. Heki ; Hideaki ; Ozaki ; Osamu ; Ohno ; Masayoshi, Gas separator.
  5. Xu Jianguo (Fogelsville PA), High pressure feed membrane separation process.
  6. Prasad Ravi (East Amherst NY), High purity membrane nitrogen.
  7. Graham Tommy E. (Raleigh NC), Membrane gas separation processes.
  8. Campbell Michael J. (Clarence Center NY) Smolarek James (Boston NY) Van Lente Timothy S. (Buffalo NY), Membrane separation system and process.
  9. Campbell Michael J. (Clarence Center NY) Smolarek James (Boston NY) Van Lente Timothy S. (Buffalo NY), Membrane separation system and process.
  10. Choe Jun S. (Harleysville PA) Kellogg ; Jr. Lyndon J. (Slatington PA), Membrane-assisted process to produce ammonia.
  11. Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Ishihara Kazuhiko (Minato JPX), Method of preparing high purity light gas by multiple-step gas separation.
  12. Callahan Richard A. (Burlington VT), Multiple stage semi-permeable membrane process and apparatus for gas separation.
  13. Barbe Christian (Paris Cedex FRX) Masurel Dominique (Paris Cedex FRX), Multistage cascade-sweep process for membrane gas separation.
  14. Nemser Stuart M. (Wilmington DE) Roman Ian C. (Wilmington DE), Perfluorodioxole membranes.
  15. Brugerolle Jean-Renaud (Paris FRX) Ferenczi Laurent (Paris FRX), Process and equipment for separating a component of intermediate permeability from a gaseous mixture.
  16. Rice Arthur W. (O\Fallon MO), Process for capturing nitrogen from air using gas separation membranes.
  17. Burr Peter S. (Munich DEX), Process for fractionation of a gaseous mixture employing side stream withdrawal, separation, and recycle.
  18. Auvil Steven R. (Macungie PA) Agrawal Rakesh (Allentown PA), Process for recovering hydrogen from a multi-component gas stream.
  19. Graham Tommy E. (Raleigh NC), Process for separating aggressive gases from gas mixtures.
  20. Choe Jung S. (Allentown PA) Auvil Steven R. (Macungie PA) Agrawal Rakesh (Allentown PA), Process for separating components of a gas stream.
  21. Graham Tommy E. (Raleigh NC) MacLean Donald L. (Raleigh NC), Processes.
  22. McNeill John M. (14021 Marquesas Way Marina Del Rey CA 90292), Production of membrane-derived nitrogen from combustion gases.
  23. Tamhankar Satish S. (Scotch Plains NJ) Ramachandran Ramakrishnan (Allendale NJ) Blow Martin (Basking Ridge NJ) Galica Theodore R. (Glen Gardner NJ), Removal of perfluorocarbons from gas streams.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Tajima, Yoshinori; Futatsuki, Takashi, Gas separation apparatus and gas separation method.
  2. Yao-En Li ; Jospeh E. Paganessi ; David Vassallo ; Gregory K. Fleming, Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
  3. Cao, Wei; Gershtein, Vladimir Yliy, Process for separating components of a multi-component feed stream.
  4. Shamouilian, Shamouil; Lai, Canfeng; Cox, Michael Santiago; Krishnaraj, Padmanabhan; Tanaka, Tsutomu; Raoux, Sebastien; Porshnev, Peter I.; Nowak, Thomas, Semiconductor device fabrication chamber cleaning method and apparatus with recirculation of cleaning gas.
  5. Roh, Young-Seok, Separation and recycling system of perfluorinated compounds.
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