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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053679 (1998-04-02) |
우선권정보 | JP-0088116 (1997-04-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 7 |
A laser microscope for picking up an image of a specimen at a high speed and a pattern checking apparatus for checking a pattern at a high speed with a high sensitivity can be provided. A plurality of light beams aligned in a first direction are produced from a light source device (1, 10), and these
[ What is claimed is:] [1.] A laser microscope comprising a light source means for emitting a plurality of light beams aligned in a first direction, an objective lens for projecting said plurality of light beams onto a specimen to form an array of fine light spots on the specimen, a specimen stage f
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