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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0035818 (1998-03-06) |
우선권정보 | JP-0214916 (1997-08-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 4 |
According to an automatic carrier control method of a semiconductor wafer cassette transportation apparatus having high semiconductor wafer cassette transportation ability, an automatic carrier carries a semiconductor wafer cassette to an automatic carrier related inlet port of a stocker under contr
[ What is claimed is:] [1.] An automatic carrier control method employed in a semiconductor wafer cassette transportation apparatus includinga stocker system for storing a plurality of semiconductor wafer cassettes,a processing apparatus for applying a process on said semiconductor wafer cassette,an
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