[특허]Vacuum chamber bakeout procedure for preventing ion gauge failure

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Vacuum chamber bakeout procedure for preventing ion gauge failure 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-027/62
출원번호	US-0921810 (1997-09-02)
발명자 / 주소	Zhou Jiaxiang
출원인 / 주소	Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소	Thomason, Moser & Patterson
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 5

초록 ▼

A method for performing a bakeout test on a vacuum chamber without causing the ion gauge to fail turns the ion gauge off when it is not needed, even during part of the time that the chamber is held at a high vacuum, so as to minimize the opportunity for contaminants to react with and damage the ion gauge filament. Specifically, the method turns the gauge off when any heating elements in the chamber are turned on, so the added heat does not exacerbate the problems with reactions with the filament. Thus, the method turns the gauge off when the chamber is too hot. In one embodiment, the method employs a heating jacket to keep the gauge and its adapter from forming a cold spot at which water vapor can condense during part of the test.

대표청구항 ▼

[ I claim:] [1.] A method of testing a vacuum system having a chamber, a high vacuum pump and a pressure gauge, comprising:pumping the chamber to a high vacuum;turning the pressure gauge on during a first period of high vacuum;turning the pressure gauge off during a second period of high vacuum;activating a chamber heating element during the second period of high vacuum; andturning the pressure gauge on again after the second period of high vacuum until the vacuum chamber reaches a qualifying pressure.

이 특허에 인용된 특허 (5)

Bergquist Lyle E. (Lakewood CO), Calibration method for ultra sensitive noble gas leak detector.
상세보기
Shih Hung-Dah (Plano TX), MBE Source bakeout system.
상세보기
Chen Aihua (Sunnyvale CA) Chapman Robert A. (Sunnyvale CA), Method of purging and pumping vacuum chamber to ultra-high vacuum.
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Morrison Jr. Charles F. (Boulder CO), Temperature compensation for pressure gauge.
상세보기
Weeks Alan L. (South Easton MA) Fortier Gerald J. (Plainville MA) Matte\ Stephen R. (Norfolk MA) Gaudet Peter W. (Hyde Park MA) Stein Martin (Bedford MA) Rosner Steven C. (Charlestown MA) Lepofsky Ro, Turbomolecular pump with valves and integrated electronic controls.
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이 특허를 인용한 특허 (8)

Myneni, Ganapati Rao, Alternative backing up pump for turbomolecular pumps.
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Hong,Seung Soo; Chung,Kwang Hwa; Shin,Yong Hyeon, Apparatus for and method of measuring composition and pressure of the discharged gas from ion gauge using residual gas analyzer.
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Blouch, Stephen C.; Arnold, Paul C.; Brucker, Gerardo A.; Graba, Wesley J.; Hansen, Douglas C., Devices and methods for feedthrough leakage current detection and decontamination in ionization gauges.
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Carmichael, Larry K.; Borenstein, Michael D.; Arnold, Paul C.; Blouch, Stephen C.; Knott, Richard A., Method and apparatus for maintaining emission capabilities of hot cathodes in harsh environments.
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Carmichael,Larry K.; Borenstein,Michael D.; Arnold,Paul C.; Blouch,Stephen C.; Knott,Richard A., Method and apparatus for maintaining emission capabilities of hot cathodes in harsh environments.
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Garza,Frederico; Wright,Michael; Peterson,Karl, Utilization of an ion gauge in the process chamber of a semiconductor ion implanter.
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Kikukawa, Shuuichi; Kojima, Katsunori; Tanimizu, Tooru; Morita, Ayumu; Tsuji, Masashige, Vacuum switch including vacuum-measurement devices, switchgear using the vacuum switch, and operation method thereof.
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Shuuichi Kikukawa JP; Katsunori Kojima JP; Tooru Tanimizu JP; Ayumu Morita JP; Masashige Tsuji JP, Vacuum switch including vacuum-measurement devices, switchgear using the vacuum switch, and operation method thereof.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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