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특허 상세정보

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Techniques for making and using a sensing assembly for a mass flow controller

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01F-001/68   
미국특허분류(USC) 73/204.27
출원번호 US-0953715 (1997-10-17)
발명자 / 주소
  • Azima Faramarz
대리인 / 주소
    Townsend and Townsend and Crew LLP
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 25
초록

The present invention provides a technique for making a sensing assembly for use in a mass flow controller. The technique includes providing separating terminals between windings on a sensor tube. The separating terminals allow secure and reliable electrical connections to be made to wire wound on the sensor tube, and act as standoffs that support the sensor tube about an insulative form.

대표
청구항

[ What is claimed is:] [1.] A device for measuring the flow of gas, the device comprising:a sensor tube;a coil of wire, the wire having an end, the coil wound around the sensor tube;at least one terminal board, the sensor tube being disposed through the terminal board, the terminal board having at least one electrode wherein the end of the wire is electrically coupled to the electrode; anda first half plate attached to a first end of the sensor tube and a second half plate attached to a second end of the sensor tube.

이 특허에 인용된 특허 (25)

  1. Doyle James H. (1247 W. Grove Ave. Orange CA 92665), Automatic calibrator.
  2. Doyle James H. (1247 W. Grove Ave. Orange CA 92665), Automatic equalizer.
  3. Licinit Edward J. (Montgomery County PA) Sullivan Paul G. (Montgomery County PA), Concentric rod and tube sensor for thermal mass flow controller and flow meter.
  4. Doyle James H. (Orange CA), Fast response control circuit.
  5. Mariano, Charles F., Fast responsive flowmeter transducer.
  6. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Mudd Daniel T. (St. Charles MO) Saghatchi Hamid (Orange CA), Flow sensor.
  7. Suzuki Isao (Tokyo JPX), Flowmeter sensor.
  8. Fiore William Victor (28 Seaview Harbor Longport NJ 08403), Fluid flow measuring apparatus.
  9. Vavra Randall J. (Orange CA) Doyle Michael (Tustin CA), Fluid flow stabilizing apparatus.
  10. Doyle James H. (1247 W. Grove Ave. Orange CA 92665), Fluid mass flow controller.
  11. Drexel Charles F. (Rolling Hills Estates CA) Blair Richard F. (Long Beach CA), Fluid mass flow meter device with reduced attitude sensitivity.
  12. Ritchart Thomas R., Fluid thermal mass flow sensor.
  13. Takahashi Minoru (Katsuta JPX) Tokuda Hiroatsu (Katsuta JPX) Suzuki Tadao (Hitachi JPX) Takada Masumi (Katsuta JPX) Kooriyama Tsutomu (Katsuta JPX), Hot wire air flow meter.
  14. Hartemink Gerrit A. (Harderwijk NLX), Improved flow meter.
  15. Ono Hirofumi (Shiga JPX) Furukado Tatsuhiko (Shiga JPX), Mass flow controller.
  16. Ono Hirofumi (Shiga JPX) Furukado Tatsuhiko (Shiga JPX), Mass flow controller.
  17. Kazama Yoichiro (Mie JPX) Oyama Tomihisa (Fukaya JPX) Tanaka Makoto (Yokkaichi JPX) Ishikawa Makoto (Kuwana JPX), Mass flow controller, operating method and electromagnetic valve.
  18. Vavra Randall J. (3131 Arlington Ave. Riverside CA 92506) Doyle Michael J. (2705 Calle Lona Riverside CA 92503), Mass flow meter.
  19. Shimomura Mitsuzo (Minami JPX) Yamaguchi Masao (Minami JPX), Mass flow meter and mass flow controller.
  20. Abouchar John W. (18881 Patrician Dr. Villa Park CA 92667) Doyle Michael J. (2705 Calle Loma Roja Riverside CA 92805), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  21. Olin John G. (Carmel Valley CA) Korpi David M. (Monterey CA), Mass flowmeter.
  22. Doyle Michael J. (2705 Calle Loma Roja Riverside CA 92503), Solenoid.
  23. Tujimura Kiyoharu (Kyoto JPX) Akebe Osamu (Kyoto JPX) Satoh Kiyoshi (Kyoto JPX), Thermal flow meter.
  24. Satoh Kiyoshi (Kyoto JPX), Thermal mass flow meter.
  25. Wachi Akira (Tokyo JPX) Hayashi Munehisa (Tokyo JPX), Thermal mass flow meter.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Ambrosina, Jesse; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor.
  2. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao, Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor.
  3. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller.
  4. Hoyle, Scott Baxter; Berkcan, Ertugrul; McSweeney, Michael Anthony, Constant-temperature-difference flow sensor, and integrated flow, temperature, and pressure sensor.
  5. Ikeda,Nobukazu; Hirata,Kaoru; Nishino,Kouji; Dohi,Ryousuke, Corrosion resistant metal made thermal type mass flow rate sensor and a fluid supply device using the same.
  6. McMillan Robert D. ; McMillan Robert M., Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses.
  7. Ike, Shinichi, Measuring apparatus and method of manufacturing the measuring apparatus.
  8. Masuichi,Mikio; Takamura,Yukihiro; Moriwaki,Sanzo; Adachi,Hideki, Substrate processing apparatus and thermal type flowmeter suitable to the same.
  9. Hasebe, Shinya, Thermal mass flow meter including heating element and temperature sensors formed on separate chips and secured to the outer periphery of the pipe.
  10. Ding,Junhua; L'Bassi,Michael; Zarkar,Kaveh H., Vertical mount mass flow sensor.

IPC 상위 출원인