최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0057381 (1998-04-08) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 88 인용 특허 : 6 |
A micromachined multi-layered microbellows-style actuator capable of delivering larger deflections compared to a single layered flat membrane of comparable size. Anchor structures are disclosed that improve the strength of the microbellows membrane. A characterization apparatus is used to measure mi
[ What is claimed is:] [11.] An actuator membrane, comprising:a membrane structure having multiple layers, wherein said layers are stacked on top of each other in an offset manner, wherein each layer having two ends is connected to another layer at alternating ends forming discrete joints thereby cr
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.