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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0135696 (1998-08-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 6 |
A method for fabricating a monolithic micro-optical component. The construction of the micro-optical components is accomplished by using standard semiconductor fabrication techniques. The method comprises the steps of depositing an etch stop layer (44) onto a semiconductor substrate (42); depositing
[ What is claimed is:] [1.] A method for fabricating a micro-optical component, comprising the steps of:depositing an etch stop layer onto a semiconductor substrate;depositing an optical component layer onto said etch stop layer;coating said optical component layer with a photoresist material;applyi
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