[특허]Probe scanning apparatus

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Probe scanning apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-037/00
출원번호	US-0855543 (1997-05-13)
발명자 / 주소	Yasutake Masatoshi,JPX Sato Yukihiro,JPX
출원인 / 주소	Seiko Instruments Inc., JPX
대리인 / 주소	Admas & Wilks
인용정보	피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 7

초록 ▼

A probe scanning apparatus for use in a device for measuring the shape of a surface or the physical properties of a sample comprises a probe and voice coil motors for generating a moving force for moving the probe in each of three directions x, y and z upon activation of the voice coil motors. A probe supporting mechanism is mounted for movement in the three directions x, y and z by the moving forces generated by the voice coil motors upon activation thereof to effect coarse/fine movement of the probe in the direction z and to scan the probe in the directions x and y.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A probe scanning apparatus for use in a device for measuring the shape of a surface or the physical properties of a sample, the probe scanning apparatus comprising:a probe;voice coil motors for generating a moving force in each of three directions x, y and z upon activation thereof; andprobe supporting means mounted for movement in the three directions x, y and z by the moving forces generated by the voice coil motors upon activation thereof to effect coarse/fine movement of the probe in the direction z and to scan the probe in the directions x and y, the probe supporting means having a thinner tube portion and a thicker tube portion extending in the direction z, wherein the probe is scanned in the directions x and y by applying the moving forces generated by the x- and y-direction voice coil motors in the directions x and y to a portion of the thicker tube portion.

이 특허에 인용된 특허 (7)

Kramer Richard E. (Damascus MD), Change of state coupling.
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Yang Jie (Charlottesville VA) Somlyo Andrew P. (Charlottesville VA) Siao Zhiferg (Charlottesville VA) Mou Jianxun (Charlottesville VA), Cryogenic atomic force microscope.
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Binnig Gerd K.,CHX ; Haeberle Walter,CHX ; Rohrer Heinrich,CHX ; Smith Douglas P. E., Fine positioning apparatus with atomic resolution.
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Park Sang-il (Palo Alto CA) Smith Ian R. (Los Gatos CA) Kirk Michael D. (San Jose CA), Large stage system for scanning probe microscopes and other instruments.
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Lindsay Stuart M. (Tempe AZ), Magnetic modulation of force sensor for AC detection in an atomic force microscope.
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Daun Michael (Madison WI) Badeau Robert R. (Stoughton WI) Kisslinger Jack G. (Verona WI), Mirror alignment and damping device.
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Uozumi Kiyohiko (Tokyo JPX) Nakamoto Keiichi (Kanagawa JPX), Scanner for scanning tunneling microscope.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

Massie, James R., Balanced momentum probe holder.
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Massie, James R., Balanced momentum probe holder.
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Massie,James R., Balanced momentum probe holder.
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Yasuda, Susumu; Seki, Junichi; Kusaka, Takao; Yoshimatsu, Nobuki, Drive stage for scanning probe apparatus, and scanning probe apparatus.
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Sato, Yukihiro; Matsuzaki, Ryuichi, Scanning probe instrument.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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