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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0040243 (1998-02-19) |
우선권정보 | JP-0036128 (1997-02-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 2 |
A method of forming films over an insulating material is provided whereby an underlayer film having electric conductivity is formed on the surface of the insulating material constituting a base member, and a hard carbon film is formed over the underlayer film so that the surface electrical resistanc
[ What is claimed is:] [1.] A method of forming films over an insulating material comprising steps of:forming an underlayer film of a metal, a metal carbide, a metal nitride or a semiconductor on a surface of the insulating material; andforming a diamond-like carbon film over the underlayer film, a
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