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Enhancement of raman scattering intensity of thin film contaminants on substrates 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01J-003/44
  • G01N-021/65
출원번호 US-0357509 (1999-07-20)
발명자 / 주소
  • Eng Frederick P.
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Guillot
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 4

초록

In the present invention the enhanced Raman spectra of a substance is obtained by depositing a metallic layer upon the surface of the substance. The Raman spectrographic laser is directed to and through the metallic layer, and the Raman scattered energy passes back through the metallic layer and is

대표청구항

[ What I claim is:] [1.] A method for providing enhanced Raman spectra from a substrate, comprising the steps of:selecting a substrate for analysis, said substrate having a surface thereof;depositing a metallic layer on said surface;performing a Raman spectrographic analysis of said substrate by the

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Xiaoming Dou,JPX ; Takama Toshio,JPX, Method of and apparatus for analyzing immunity by raman spectrometry.
  2. Carron Keith T. (Laramie WY), Molecular specific detector for separation science using surface enhanced raman spectroscopy.
  3. Dou Xiaoming,JPX ; Takama Toshio,JPX, Spectral measuring apparatus and automatic analyzer.
  4. Vo-Dinh Tuan, Surface-enhanced raman medical probes and system for disease diagnosis and drug testing.

이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Singh,Mandeep, Apparatus and method for detecting contamination within a lithographic apparatus.
  2. Singh,Mandeep, Lithographic apparatus and method.
  3. Manuel,Mark; Kirkum,Christopher Dean; Racklyeft,Robert, Method and apparatus for the creation of a tool.
  4. Manuel,Mark; Kirkum,Christopher Dean; Racklyeft,Robert, Method and apparatus for the creation of a tool.
  5. Willis, Terrance J., Method and system for interrogating the thickness of a carbon layer.
  6. Manuel,Mark, Method for building a tool.
  7. Greaves,Thomas Nelson, Method for forming a tangible item and a tangible item formed by the method.
  8. Manuel,Mark, Method for producing a tool.
  9. Klose, Manfred, Method of analyzing silicon-germanium alloys and apparatus for manufacturing semiconductor layer structures with silicon-germanium alloy layers.
  10. Koo, Tae Woong T.; Yamakawa, Mineo, Method, structure, and apparatus for Raman spectroscopy.
  11. Koo,Tae Woong T.; Yamakawa,Mineo, Method, structure, and apparatus for Raman spectroscopy.
  12. Zhao, Yiping; Dluhy, Richard A.; Tripp, Ralph A.; Chaney, Stephen; Shanmukh, Sarat; Jones, Leslie P., Surface enhanced raman spectroscopy (SERS) systems and methods of use thereof.
  13. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., System and a method for cooling a tool.
  14. Zhao, Yiping; Abell, Justin L.; Chen, Jing, Thin layer chromatography-surfaced enhanced Raman spectroscopy chips and methods of use.
  15. Manuel,Mark, Tool and a method for creating a tool.
  16. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., Tool and a method for creating the tool.
  17. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., Tool and a method for making a tool.
  18. Manuel, Mark, Tool having an ejection assembly, a method for making such a tool, and a method for ejecting a formed object from a tool.
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