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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053683 (1998-04-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 20 인용 특허 : 1 |
A film deposition system for coating large surfaces includes a target translated in parallel to the surface, and an energetic beam (laser beam) directed in parallel to the surface to be coated and impinging on the target, so that a plasma plume extends from the target to the surface to be coated. Tr
[ What is claimed is:] [1.] Film deposition system, comprising:a substrate having at least one surface,a target translating substantially in parallel to said at least one surface of the substrate, andat least one energetic beam having an impingement segment directed substantially in parallel to said
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