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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0802276 (1997-02-19) |
우선권정보 | JP-0061898 (1996-02-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 81 인용 특허 : 47 |
A semiconductor device includes a substrate having an insulating film on its surface, and an active layer made of a semiconductive thin film on the substrate surface. The thin film contains a mono-domain region formed of multiple columnar and/or needle-like crystals parallel to the substrate surface
[ What is claimed is:] [1.] A semiconductor thin film on an insulating film formed on a substrate, said thin film comprising:a mono-domain region including therein a plurality of columnar or needle-like crystals substantially parallel to said substrate; andsaid insulating film underlying said thin f
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