[특허]Plasma processing system and method

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H05H-001/00
출원번호	US-0235943 (1999-01-22)
발명자 / 주소	Bluck Terry Rogers James H. Xie Jun
출원인 / 주소	Intevac, Inc.
대리인 / 주소	Cole
인용정보	피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 4

초록 ▼

A substrate processing system includes a processing chamber, a substrate holder positioned in the chamber, a gas source for supplying a process gas to the chamber, at least one ion source located in the chamber, and a power source for energizing the ion source by positively biasing the anode and negatively biasing the cathode, the bias in each instance being relative to the chamber. The ion source ionizes the process gas producing ions for processing a substrate disposed on a substrate holder in the chamber. One embodiment includes two such ion sources. In this case, the power source energizes the first and second anodes and the cathodes in a time multiplexed manner, such that only one of the first or second ion sources is energized at any time and interactions between ion sources are eliminated.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A substrate processing system comprising:a grounded processing chamber;a substrate holder positioned in said processing chamber;a gas source coupled to said processing chamber for supplying a process gas to said processing chamber;an ion source in said chamber for ionizing said process gas to produce ions for processing a surface of a substrate disposed on said substrate holder facing said ion source, said ion source comprising a first anode and a first electron source;a power source for biasing said anode, said electron source, and said substrate such that said anode and a substrate on said substrate holder are biased to a positive voltage level while said electron source is biased to a negative potential.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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