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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0966311 (1997-11-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 25 |
The microbridge structure comprises a substrate layer provided with two first electrical contacts, a microstructure provided with two second electrical contacts, and a micro support for suspending the microstructure over and at a predetermined distance from the substrate layer. The micro support ext
[ What is claimed is:] [1.] A method for forming a microstructure suspended by a micro support, the microstructure being for environmental sensing, the method comprising the steps of:(a) providing a substrate layer with electrical contacts;(b) covering the substrate layer with a temporary layer;(c)
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