[특허]Plasma processing apparatus and processing method

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/00
출원번호	US-0853449 (1997-05-09)
우선권정보	JP0125770 (1996-05-21)
발명자 / 주소	Teranishi Koji,JPX Yamagami Atsushi,JPX Takaki Satoshi,JPX
출원인 / 주소	Canon Kabushiki Kaisha, JPX
대리인 / 주소	Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보	피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 9

초록 ▼

A plasma processing apparatus has a substrate holder, arranged in a reaction vessel which can be reduced in pressure, for placing a substrate to be processed thereon, means for feeding a process gas into the reaction vessel, and a cathode electrode for supplying a high-frequency wave power from a high-frequency wave power source to an interior of the reaction vessel through a matching circuit, and is characterized in that at least a part of the reaction vessel is constituted by a dielectric member, and the cathode electrode is arranged outside the reaction vessel, so that a plasma distribution in the reaction vessel is made uniform, and a uniform plasma process for a substrate to be processed is made possible. The plasma process includes CVD, sputtering, etching or ashing.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A plasma processing apparatus comprising:a reaction vessel inside which a substrate to be processed can be housed and the internal pressure of which can be reduced, at least a part of the reaction vessel being formed of a dielectric material;a substrate holder for holding the substrate to be processed;means for feeding a processing gas to the reaction vessel;a plurality of cathode electrodes arranged on the outside of the reaction vessel;a high frequency power source, a high frequency power output which is divided and supplied to each of the cathode electrodes;a plurality of capacitors each provided between the high frequency power source and one of the cathode electrodes, respectively; anda first ground shield covering the cathode electrodes and the capacitors.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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