최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0452549 (1999-12-01) |
발명자 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 18 |
A method, apparatus and package for packaging contaminant-sensitive articles such as semiconductor wafers on shock absorbers in a sealed rigid plastic enclosure such as a box or the like which may be enclosed within another sealed enclosure wherein the sealed enclosures are each provided with a self
[ What is claimed is:] [1.] A method of packaging semiconductor wafers, comprising the steps of:a) providing a rigid first enclosure having an interior compartment therein, the enclosure having a wall with an opening therethrough, the opening being closed by a first self-sealing member;b) locating t
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.