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특허 상세정보

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Method and apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65B-031/00   
미국특허분류(USC) 534/34 ; 534/32 ; 534/49
출원번호 US-0452549 (1999-12-01)
발명자 / 주소
대리인 / 주소
    Mantooth
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 18
초록
▼

A method, apparatus and package for packaging contaminant-sensitive articles such as semiconductor wafers on shock absorbers in a sealed rigid plastic enclosure such as a box or the like which may be enclosed within another sealed enclosure wherein the sealed enclosures are each provided with a self-sealing member together with a hollow needle connected to a source of purging gas and a vacuum source for selectively piecing one or more of the self-sealing members to communicate the gas and vacuum sources with a selected one of the enclosures interiors for...

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of packaging semiconductor wafers, comprising the steps of:a) providing a rigid first enclosure having an interior compartment therein, the enclosure having a wall with an opening therethrough, the opening being closed by a first self-sealing member;b) locating the wafers in the interior compartment of the first enclosure;c) closing and sealing the first enclosure;d) providing a second enclosure having an interior compartment, the second enclosure having a wall with an opening therein, the second enclosure opening bei...

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Brooks Ray G. ; Brooks Timothy W. ; Fowler Stephen L.. Apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package. USP1998035724748.
  2. Holliday James E. (75 “E.”Watchhill Dr. Colorado Springs CO 80906) Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906). Enclosed sealable purgible semiconductor wafer holder. USP1995125472086.
  3. Goodman John B. (Chanhassen MN) Mikkelsen Kirk J. (Chanhassen MN). Evacuated wafer container. USP1993105255783.
  4. Kikuchi Shoji (Tokyo JPX). Hard disk container. USP1988014721207.
  5. Kos Robert D. (Victoria MN) Niebeling Tracy J. (Minneapolis MN) Eggum Shawn D. (Chaska MN). Hinged tilt box with inclined portion. USP1993095248033.
  6. Mitchell Jerry L. (P.O. Box 667 Livingston TX 77351). Method for packaging perishable products. USP1990044919955.
  7. Kitamura Wahei (Kodaira JPX) Murakami Gen (Machida JPX) Nishi Kunihiko (Kokubunji JPX). Method of producing surface package type semiconductor package. USP1994015274914.
  8. Sanderson Roger S. (24662 Santa Clara Dana Point CA 92629). Method of sterilizing and storing articles. USP1988074754595.
  9. Teraoka Masao (Omiyamachi JPX). Power transmission unit. USP1989124886152.
  10. Laird Richard P. (Peoria IL) Sills William M. (Peoria IL). Quick release gauge fitting. USP1976013930413.
  11. Gregerson Barry (Colorado Springs CO) Wittman Boyd (Colorado Springs CO). Reinforced semiconductor wafer holder. USP1995125476176.
  12. Coyne Martin J. ; Fiscus Gregory M. ; Sammel Alfred G.. Remote vacuum compaction of compressible hazardous waste. USP1998105818059.
  13. Skoura Gilles (Grenoble FRX). Sawtooth container for semiconductor wafers. USP1993055211717.
  14. Gregerson Barry (Shorewood MN) Dressen Larry (Waconia MN). Substrate package. USP1990104966284.
  15. Takeuchi Noriyuki (Fujisawa JPX) Kajiyama Masaaki (Fujisawa JPX) Kondo Fumio (Fujisawa JPX) Matsumura Masao (Fujisawa JPX) Yoshioka Takeshi (Fujisawa JPX). Vacuum processing system. USP1995035398481.
  16. Kos Robert D. (Victoria MN). Wafer carrier with wafer retaining cushions. USP1993105255797.
  17. Clement Carl J. (Los Altos Hills CA) Campbell Kenneth S. (Mountain View CA) Stengel Fred H. (Palo Alto CA). Wafer packaging system. USP1979104171740.
  18. MacLeod ; George M. ; Riley ; James F.. Wafer packaging system. USP1978054091919.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 14

  1. Rogers, Samson Salman; Katz, David Micah; Pollock, Neil. Aseptic sampling system. USP2017069675520.
  2. Imbert, Claude; Porret, Jean-Yves. Device for communicating two chambers, while maintaining tightness. USP2003066571540.
  3. Waldron, Joseph M.. Devices for introducing air into, or removing air from, containers. USP2010087765777.
  4. Waldron, Joseph M.. Devices for introducing air into, or removing air from, containers. USP2011037895815.
  5. Beatty, Paul A.; Wood, Joe A.. Humidity control for enclosure. USP20181110134447.
  6. Beatty, Paul A.; Wood, Joe A.. Humidity control for enclosure. USP2016049302795.
  7. Kawashima,Masahiko; Unno,Gensyou; Matsuki,Yutaka. Method for producing gas exchange package. USP2007017165376.
  8. Nishiura, Takayuki; Mezaki, Yoshio; Yabuhara, Yoshiki. Method of packaging compound semiconductor substrates. USP2013028381493.
  9. Onda, Takehito; Nakamura, Seiya. Packaged body. USP2010077748539.
  10. Watchowski,Mark A.; Watchowski,Loretta S.. Portable storage protection device. USP2008047350338.
  11. Tieben, Anthony Mathius; Halbmeier, David L.; Kolbow, Steven P.. Purge system for a substrate container. USP2012048146623.
  12. Tieben, Anthony Mathius; Lystad, John; Halbmaier, David L.. Substrate container with fluid-sealing flow passageway. USP2014058727125.
  13. Tieben,Anthony Mathius; Lystad,John; Halbmaier,David L.. Substrate container with fluid-sealing flow passageway. USP2008027328727.
  14. Lunn, Paul E.. System and method of transferring matter through a sealed container. USP2017059643746.

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